G5S资料(1).pdf - 第110页
3-1 1 5OM-1750 部品配置図 REAR 130 5 -002 CNP1 DC電源ユニット 集約基板 リレー基板 パネル XY モータアンプ ユニット (後 ) 真空ポンプ
3-10
5OM-1750
ヘッド部モータアンプユニット
1305-002
Symbol Name Remarks
A31F
ヘッド 2 サーボモータアンプ
A31B
ヘッド 1 サーボモータアンプ
部品配置図
A31B
A31F
3-11
5OM-1750
部品配置図
REAR
130
5
-002
CNP1
DC電源ユニット
集約基板
リレー基板
パネル
XYモータアンプ
ユニット(後)
真空ポンプ
3-12
5OM-1750
部品配置図
1305-002
リレー基板パネル
X11
X62 X63
X1
X13
K129
K2B K43
K1A
K65
X2
K25
F5
X19X18
F13 F14 F15 F16
K1A
K22K66
K31
X21
X153X61 X9
X4X5X23
X31 X32 X150
X12
X24 X25
X16 X17
X111
X15
F25F21 F23 F27
X113
X114X112
X121
X122
U27
Symbol Name Remarks
U27
リレー基板 モデル UC34