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2-9 5OM-1750 1305-002 Y0707 Y0707 Y0707 記 号 名 称 記 号 名 称 Y0707 エアブローバルブ ヘッド部レイアウト ( コネクタボックス部 ) センサ負荷配置図
2-8
5OM-1750
1305-002
ヘッド回転部
ノズル上下部
ノズル選択部
ヘッド上下部
記 号 名 称 記 号 名 称
ヘッド部レイアウト ( 全体 )
センサ負荷配置図
2-9
5OM-1750
1305-002
Y0707 Y0707
Y0707
記 号 名 称 記 号 名 称
Y0707 エアブローバルブ
ヘッド部レイアウト ( コネクタボックス部 )
センサ負荷配置図
2-10
5OM-1750
1305-002
U37
Y0601-Y0615
U03
M31
U04
1.6x6
1.6x3
1.6x3
1.6x4 1.6x41.6x4 1.6x4
1.6x4
1.6x3 1.6x3
2x4
1.6x4
1.6x3
記 号 名 称 記 号 名 称
U37 スリップリング
M31 ヘッド回転 (DD) モータ
U04 ラインセンサ ( 投光 )
U03 ラインセンサ ( 受光 )
Y0601-Y0615 真空切替バルブ 1 ～ 15
ヘッド部レイアウト ( ヘッド回転部 )
センサ負荷配置図