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2-14 5OM-1750 1305-002 B_CMP1 B_DWN1 B_SH1 Y_OP1 Y_SH 記 号 名 称 記 号 名 称 Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1 Y_UP1 高速ノズルストッカ 2 上昇 1 B_DWN1 高速ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1 B_SH1 高速ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1 B_CMP1 高速ノズルストッカ 2 クランプ確認 1 ノズルストッカ部レイアウト センサ…
2-13
5OM-1750
1305-002
M33
B0711
記 号 名 称 記 号 名 称
M33 ヘッド上下 (HL) モータ
B0711 ヘッド上下 (-) オーバーラン
ヘッド部レイアウト ( ヘッド上下部 )
センサ負荷配置図
2-14
5OM-1750
1305-002
B_CMP1
B_DWN1
B_SH1
Y_OP1
Y_SH
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 高速ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 高速ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 高速ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 高速ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
ノズルストッカ部レイアウト
センサ負荷配置図
2-15
5OM-1750
1305-002
6
B11002
B21002
B11004
B0830
B0831
B21003B11003
M44
M42 M43
B0832
B0833
M41
記 号 名 称 記 号 名 称
M41
NL-L
B11002
左基板検出センサ
M42
NA-L
B21002
中基板検出センサ
M43
NR-L
B11003
左基板ファイバセンサ
M44
NA-W
B21003
右基板ファイバセンサ
B11004
右基板検出センサ
B0830
左
基板ストッパ 下限検出
B0831
左
基板ストッパ 上限検出
B0832
右
基板ストッパ 下限検出
B0833
右
基板ストッパ 上限検出
コンベア部レイアウト ( 外側 )
センサ負荷配置図