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3-16 5OM-1750 部品配置図 真空ポンプ 1305-002 M66 Symbol Name Remarks M66 シンクウポンプモータ
3-15
5OM-1750
部品配置図
DC 電源ユニット
1305-002
(48D)
G2
CN1
(24G)
G3
(24A)
G1
Symbol Name Remarks
G1
制御用 24V 電源
G2
モータ・LED 照明用 48V 電源
G3
フィーダ用 24V 電源
3-16
5OM-1750
部品配置図
真空ポンプ
1305-002
M66
Symbol Name Remarks
M66
シンクウポンプモータ
3-17
5OM-1750
部品配置図
サイドビュー基板パネル
1305-002
Symbol Name Remarks
U02
サイドビュー
IO
基板 モデル
UC39
G9
サイドビューカメラ電源
U02
G9