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2-16 5OM-1750 1305-002 B1005 Y0810 ~ Y0815 記 号 名 称 記 号 名 称 B1005 可動シュート 原点センサ Y0810 Z クランプ左シリンダバルブ下降 Y0811 Z クランプ左シリンダバルブ上昇 Y0812 Z クランプ右シリンダバルブ下降 Y0813 Z クランプ右シリンダバルブ上昇 Y0814 左基板ストッパ昇降バルブ Y0815 右基板ストッパ昇降バルブ コンベア部レイアウト (…

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5OM-1750
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B11002
B21002
B11004
B0830
B0831
B21003B11003
M44
M42 M43
B0832
B0833
M41
記  号 名   称 記  号 名   称
M41
NL-L
B11002
左基板検出センサ
M42
NA-L
B21002
中基板検出センサ
M43
NR-L
B11003
左基板ファイバセンサ
M44
NA-W
B21003
右基板ファイバセンサ
B11004
右基板検出センサ
B0830
基板ストッパ 下限検出
B0831
基板ストッパ 上限検出
B0832
基板ストッパ 下限検出
B0833
基板ストッパ 上限検出
コンベア部レイアウト ( 外側 )
センサ負荷配置図
2-16
5OM-1750
1305-002
B1005 Y0810 ~ Y0815
記  号 名   称 記  号 名   称
B1005 可動シュート 原点センサ
Y0810 Z クランプ左シリンダバルブ下降
Y0811 Z クランプ左シリンダバルブ上昇
Y0812 Z クランプ右シリンダバルブ下降
Y0813 Z クランプ右シリンダバルブ上昇
Y0814 左基板ストッパ昇降バルブ
Y0815 右基板ストッパ昇降バルブ
コンベア部レイアウト ( 内側 )
センサ負荷配置図
2-17
5OM-1750
1305-002
E191
E193
E192
B61
記  号 名   称 記  号 名   称
B61 部品認識カメラ
E191 部品認識リング照明
E192 部品認識同軸照明
E193 基準マーク照明 A
部品認識カメラレイアウト
センサ負荷配置図