G5S资料(1).pdf - 第58页

1-5 5OM-1750 7-1 7-3 7-2 7 4 6-1 6-2 6 5-1 5-5 5-4 5-4 5 5-6 5-2 5-3 4-1 4-2 4-3 4-4 4-4 4-6 4-5 エア配管図及び実装図本体 ( 実装図 ) No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数 4 ソレノイドバルブユニット 1 5-3 ハーフユニオン 2 7-3 プラグ 2 4-1 ソレノイドバルブ 2 5…

1-41-1

1-3

1-2

2-8

2-6

2-5

2-9

2-6

2-1

2-10

2-2

2-9

3-4

3-3

3-2

3-1

3-6

3-5

2-4

2-7

2-3

2-11

1-4

5OM-1750

エア配管図及び実装図

本体 ( 実装図 )

No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数

1 エア供給ユニット 1 2-5 レギュレータ 1 3-3 ユニバーサルクイック 3

1-1 コンビネーションユニット 1 2-6 レギュレータ 2 3-4 プラグ 1

1-2 PIPE FITTING イモノエルボ 1 2-7 ハーフユニオン 2 3-5 エルボユニオン 1

1-3 エアカプラ 1 2-8 ハーフユニオン 1 3-6 レジューサ 1

1-4 ハーフユニオン 1 2-9 エルボユニオン 2

2 エア供給ユニット 1

2-10

エルボユニオン 1

2-1 真空ゲージ 1

2-11

エルボユニオン 2

2-2 コンビネーションユニット 1 3 真空ポンプユニット 1

2-3 圧力スイッチ 1 3-1 真空ポンプ 1

2-4 圧力ゲージ 1 3-2 ブッシュ 1

1305-002

1-5

5OM-1750

7-1

7-3

7-2

6-1

6-2

5-1

5-5

5-4

5-6

5-2

5-3

4-1

4-2

4-3

4-4

4-6

4-5

エア配管図及び実装図

本体 ( 実装図 )

No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数

4 ソレノイドバルブユニット 1 5-3 ハーフユニオン 2 7-3 プラグ 2

4-1 ソレノイドバルブ 2 5-4 ハーフユニオン 2 1

4-2 ハーフユニオン 2 5-5 ハーフユニオン 1 1

4-3 ハーフユニオン 2 5-6 ハーフユニオン 1

4-4 ハーフユニオン 2 6 マニホールドユニット 1

4-5 ハーフユニオン 1 6-1 マニホールド 1

4-6 ハーフユニオン 1 6-2 ストレートエルボ 1

5 ソレノイドバルブユニット 7 マニホールドユニット 1

5-1 ソレノイドバルブ 2 7-1 マニホールド 1

5-2 ハーフユニオン 2 7-2 ストレートエルボ 1

1305-002

1-6

5OM-1750

エア配管図及び実装図

コンベア ( エア配管図 )

No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数 No. 名称個数

1 チューブ D32 1

2 チューブ D6 1

3 PIPE FITTINGS 1

4 フラットチューブ D4.1 1

1305-002

本体より

配管φ６Ｌ４４０

配管φ６

Ｌ１０００

基板ストッパーL

VBHSO

VBHSI

BHSI

BHSO

φ3.2Ｌ500

φ3.2Ｌ450

VBHSO

VBHSI

φ3.2Ｌ850

基板ストッパーＲ

VBMSO

VBMSI

BMSI

BMSO

BMSI

BMSO

φ3.2Ｌ460

φ3.2Ｌ400

VBMSI

VBMSO

φ3.2Ｌ950

可動側ＺクランプＬ

固定側ＺクランプＬ

φ3.2Ｌ820

φ3.2Ｌ122

φ3.2Ｌ70 φ3.2Ｌ46

φ3.2Ｌ122

φ3.2Ｌ70 φ3.2Ｌ46

VBKHZ

VB3HZ

B3HZ

VBKHZ

BKHZ

φ3.2Ｌ850

φ3.2Ｌ450

φ3.2Ｌ950

φ3.2Ｌ122

φ3.2Ｌ70 φ3.2Ｌ46

φ3.2Ｌ46φ3.2Ｌ70

φ3.2Ｌ122

B3MZ

VB3MZ

VBKMZ

BKMZ

φ3.2Ｌ950

φ3.2Ｌ500

可動側ＺクランプＲ

固定側ＺクランプＲ

VBKMZ

VB3MZ