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2-1 1 5OM-1750 1305-002 M32 B0502 記 号 名 称 記 号 名 称 M32 ノズル選択 (NS) モータ B0502 ノズル選択位置検出 ヘッド部レイアウト ( ノズル選択部 ) センサ負荷配置図
2-10
5OM-1750
1305-002
U37
Y0601-Y0615
U03
M31
U04
1.6x6
1.6x3
1.6x3
1.6x4 1.6x41.6x4 1.6x4
1.6x4
1.6x3 1.6x3
2x4
1.6x4
1.6x3
記 号 名 称 記 号 名 称
U37 スリップリング
M31 ヘッド回転 (DD) モータ
U04 ラインセンサ ( 投光 )
U03 ラインセンサ ( 受光 )
Y0601-Y0615 真空切替バルブ 1 ～ 15
ヘッド部レイアウト ( ヘッド回転部 )
センサ負荷配置図
2-11
5OM-1750
1305-002
M32
B0502
記 号 名 称 記 号 名 称
M32 ノズル選択 (NS) モータ
B0502 ノズル選択位置検出
ヘッド部レイアウト ( ノズル選択部 )
センサ負荷配置図
2-12
5OM-1750
1305-002
B0503
M34
記 号 名 称 記 号 名 称
M34 ノズル上下 (NL) モータ
B0503 インターロックセンサ
ヘッド部レイアウト ( ノズル上下部 )
センサ負荷配置図