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2-4 5OM-1750 1305-002 U22 U23 M23 M22 U22 U23 M23 B2203 B2201 M22 記 号 名 称 記 号 名 称 M22 Y1 軸モータ M23 Y2 軸モータ U22 Y1 リニアスケールヘッド U23 Y2 リニアスケールヘッド B2201 Y 軸オーバーラン ( + ) B2205 Y 軸オーバーラン (-) ビーム Y 軸レイアウト センサ負荷配置図

100%1 / 185
2-3
5OM-1750
1305-002
センサ負荷配置図
S132(前側)
M102
H11F
H1
S132(後側)
H11B
M101
S111B
S111F
記  号 名   称 記  号 名   称
H1 タワー灯
H11F 材料表示灯 ( ) H11B 材料表示灯(後)
S132 カバーロック ( 前側 ) S132 カバーロック ( 後側 )
M101 天井 ( ) 冷却ファン M102 天井 ( ) 冷却ファン
S111F READY( ) [ フィーダ準備完了 ] S111B READY( ) [ フィーダ準備完了 ]
カバーレイアウト
2-4
5OM-1750
1305-002
U22
U23
M23
M22
U22
U23
M23
B2203
B2201
M22
記  号 名   称 記  号 名   称
M22 Y1 軸モータ
M23 Y2 軸モータ
U22 Y1 リニアスケールヘッド
U23 Y2 リニアスケールヘッド
B2201
Y 軸オーバーラン (+)
B2205 Y 軸オーバーラン (-)
ビーム Y 軸レイアウト
センサ負荷配置図
2-5
5OM-1750
1305-002
U21
B36
M21
E39
記  号 名   称 記  号 名   称
M21 X 軸モータ
U21 リニアスケールヘッド
B36 基板認識カメラ
E39 基板認識照明
ビーム X 軸レイアウト
センサ負荷配置図