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3-20 5OM-1750 1305-002 部品配置図 側面パネル前 外側 TB ： AC1 F200 Symbol Name Remarks F200 Lightning Surge Protecter
3-19
5OM-1750
1305-002
部品配置図
側面パネル前 内側
K10K28K29
Q205
Q206(30A)
Q221(30A)
TB:AC2
Symbol Name Remarks
Q205 CirCuit Protecter
真空ポンプ
Q206 CirCuit Protecter
Q221 CirCuit Protecter
K29 EM-CONTACTOR
真空ポンプ電源投入
K28 EM-CONTACTOR CPU
電源投入
K10 EM-CONTACTOR G2
電源投入
3-20
5OM-1750
1305-002
部品配置図
側面パネル前 外側
TB ： AC1
F200
Symbol Name Remarks
F200
Lightning Surge Protecter
3-21
5OM-1750
1305-002
部品配置図
側面パネル中
4 4
K33A
K33B
R04F R04B
Symbol Name Remarks
K33A EM-CONTACTOR
K33B EM-CONTACTOR
R04F RESISTOR_SPECIAL X1(
前
)
軸モータ回生抵抗
R04B RESISTOR_SPECIAL X1(
後
)
軸モータ回生抵抗