G5S资料(1).pdf - 第116页
3-17 5OM-1750 部品配置図 サイドビュー基板パネル 1305-002 Symbol Name Remarks U02 サイドビュー IO 基板 モデル UC39 G9 サイドビューカメラ電源 U02 G9
3-16
5OM-1750
部品配置図
真空ポンプ
1305-002
M66
Symbol Name Remarks
M66
シンクウポンプモータ
3-17
5OM-1750
部品配置図
サイドビュー基板パネル
1305-002
Symbol Name Remarks
U02
サイドビュー
IO
基板 モデル
UC39
G9
サイドビューカメラ電源
U02
G9
3-18
5OM-1750
部品配置図
SIDE A
1305-002