G5S资料(1).pdf - 第92页
2-15 5OM-1750 1305-002 6 B11002 B21002 B11004 B0830 B0831 B21003 B11003 M44 M42 M43 B0832 B0833 M41 記 号 名 称 記 号 名 称 M41 NL-L B11002 左基板検出センサ M42 NA-L B21002 中基板検出センサ M43 NR-L B11003 左基板ファイバセンサ M44 NA-W B21003 右基板ファイバセンサ …
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5OM-1750
1305-002
B_CMP1
B_DWN1
B_SH1
Y_OP1
Y_SH
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 高速ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 高速ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 高速ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 高速ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
ノズルストッカ部レイアウト
センサ負荷配置図
2-15
5OM-1750
1305-002
6
B11002
B21002
B11004
B0830
B0831
B21003B11003
M44
M42 M43
B0832
B0833
M41
記 号 名 称 記 号 名 称
M41
NL-L
B11002
左基板検出センサ
M42
NA-L
B21002
中基板検出センサ
M43
NR-L
B11003
左基板ファイバセンサ
M44
NA-W
B21003
右基板ファイバセンサ
B11004
右基板検出センサ
B0830
左
基板ストッパ 下限検出
B0831
左
基板ストッパ 上限検出
B0832
右
基板ストッパ 下限検出
B0833
右
基板ストッパ 上限検出
コンベア部レイアウト ( 外側 )
センサ負荷配置図
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5OM-1750
1305-002
B1005 Y0810 ～ Y0815
記 号 名 称 記 号 名 称
B1005 可動シュート 原点センサ
Y0810 Z クランプ左シリンダバルブ下降
Y0811 Z クランプ左シリンダバルブ上昇
Y0812 Z クランプ右シリンダバルブ下降
Y0813 Z クランプ右シリンダバルブ上昇
Y0814 左基板ストッパ昇降バルブ
Y0815 右基板ストッパ昇降バルブ
コンベア部レイアウト ( 内側 )
センサ負荷配置図