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3-18 5OM-1750 部品配置図 SIDE A 1305-002
3-17
5OM-1750
部品配置図
サイドビュー基板パネル
1305-002
Symbol Name Remarks
U02
サイドビュー
IO
基板 モデル
UC39
G9
サイドビューカメラ電源
U02
G9
3-18
5OM-1750
部品配置図
SIDE A
1305-002
3-19
5OM-1750
1305-002
部品配置図
側面パネル前 内側
K10K28K29
Q205
Q206(30A)
Q221(30A)
TB:AC2
Symbol Name Remarks
Q205 CirCuit Protecter
真空ポンプ
Q206 CirCuit Protecter
Q221 CirCuit Protecter
K29 EM-CONTACTOR
真空ポンプ電源投入
K28 EM-CONTACTOR CPU
電源投入
K10 EM-CONTACTOR G2
電源投入