G5S资料(1).pdf - 第118页
3-19 5OM-1750 1305-002 部品配置図 側面パネル前 内側 K10 K28 K29 Q205 Q206(30A) Q221(30A) TB:AC2 Symbol Name Remarks Q205 CirCuit Protecter 真空ポンプ Q206 CirCuit Protecter Q221 CirCuit Protecter K29 EM-CONT ACT OR 真空ポンプ電源投入 K28 EM-CONT A…
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5OM-1750
部品配置図
SIDE A
1305-002
3-19
5OM-1750
1305-002
部品配置図
側面パネル前 内側
K10K28K29
Q205
Q206(30A)
Q221(30A)
TB:AC2
Symbol Name Remarks
Q205 CirCuit Protecter
真空ポンプ
Q206 CirCuit Protecter
Q221 CirCuit Protecter
K29 EM-CONTACTOR
真空ポンプ電源投入
K28 EM-CONTACTOR CPU
電源投入
K10 EM-CONTACTOR G2
電源投入
3-20
5OM-1750
1305-002
部品配置図
側面パネル前 外側
TB ： AC1
F200
Symbol Name Remarks
F200
Lightning Surge Protecter