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4-26 5OM-1750 1303-001-(31010WD---1003) IO 基板 U01 接続回路 3 1 2 3 4 5 6 7 8 A B C D E F 1 2 CN29 2 CN15 ID5:Di12 ID3:Do00 START LIGHT（B1） ID3:Di05 PNL CHANGE（B1） ID3:Di03 1 7 9 4 筺体下冷却ファン 天井ファン（左） タワー灯 材料切れ灯（後） M M106 1 3 5…
4-25
5OM-1750
1303-001-(31010WD---1002)
IO 基板 U01 接続回路 2
1 2 3 4 5 6 7 8
A
B
C
D
E
F
22 21
22 21
52 51
52 51
12 9
:5
:6
X102704
1 6
1 6
12 1
1 5
K29
1
2
7
8
7
8
3
4
9
3
4
10
CN150
5
6
CN5
5
6
CN4
CN32
CN31
CN32
CN31
1
2
3
4
5
6
9
10
11
12
13
23
12
9
CN9
3
4
5
6
9
10
11
12
13
CN25
安全扉開閉モニタ
14
CN25
ID1 Di00
安全リレーK3モニタ
POWER ON
非常停止
安全扉ロック確認
ID2 Di00
ID1 Di01
ID3 Di00
ID3 Di09
ID2 Do 00
DC負荷電源投入
ID2 Do01
電源遮断
ID2 Do02
後安全扉ロック
Out Port
ID2 Do04
真空ポンプ電源 ON
ID2 Do03
前安全扉ロック
14
15
16
17
1 6
15
16
17
19
20
20
18
CN61
多段トレイ電源投入
非常停止ｽｲｯﾁ（後）
非常停止ｽｲｯﾁ（前）
後安全扉ｽｲｯﾁ（後）
24A2
24A2
CN61
ID1 Di10
[B-/05/8E]
from K4-X1
7
8
U01
IO PCB
X0125
7
8
X2705
X2704
X2731
X2732
X27150
X2761
X2761
X2709
18
ID2 Do07
20
21
22
10
10
10
10
10
10
In Port
21
S132
E1 E2
5 4
S131
E1 E2
5 4
24A2
10
前安全扉ｽｲｯﾁ（SOL）
後安全扉ｽｲｯﾁ（SOL）
24A2
673
A2 A1
446
10
500
3132
3132
X2731
X2732
安全リレーK4モニタ
Out Port
S132
S131
S132
S131
:7
S131
:8
:7
S132
:8
:3
S131
:4
:3
S131
:4
:10
S132
:9
:10
S131
:9
:10
X2732
S105B
S105F
:9
X2732
:10
X2731
:9
X2731
K22
K66
K65
K43
K25
K65
K66
U27U27
K2
N.C
N.C
[B-/05/5C]
K3-14
[B-/05/2C]
K3-13
:3
X2723
後安全扉ｽｲｯﾁ（前）
後安全扉ｽｲｯﾁ（後）
後安全扉ｽｲｯﾁ（前）
[D-/08/5B]
U01-CN8,9:6
[B-/04/6E]
to X153:1,3
4-26
5OM-1750
1303-001-(31010WD---1003)
IO 基板 U01 接続回路 3
1 2 3 4 5 6 7 8
A
B
C
D
E
F
1
2
CN29
2
CN15
ID5:Di12
ID3:Do00
START LIGHT（B1）
ID3:Di05
PNL CHANGE（B1）
ID3:Di03
1
7
9
4
筺体下冷却ファン
天井ファン（左）
タワー灯
材料切れ灯（後）
M
M106
1
3
5
ID5:Di13
4
6
8
FAN アラームOP
ID5:Di14
M
7
9
11
ID5:Di15
M
10
12
M101
M102
天井ファン（右）
H11B
H11F
材料切れ(B 1)点灯
ID3:Do10
3
ID3:Do11
9
タワー灯（緑）点灯
ID3:Do12
10
ID3:Do13
11
ID3:Do14
12
14
ID3:Do15
ID5:Do08
2
4
タワー灯（黄）点灯
タワー灯（赤）点灯
タワー灯 OP
13
タワー灯（ﾌﾞｻﾞｰ）
材料切れ灯（前）
材料切れ(B2)点灯
FAN アラームOP
FAN アラームOP
W
BK
W
BK
GR
OR
R
PUR
Y
CN31
5
6
7
8
NO
NO NO
NC NC
NO
STOP ｽｲｯﾁ（後）
S104B
S102B
ID3:Do01
START（B 1）
5
8
S102B
S104B
S103B
3
ID3:Do02
PNL CHANGE
LIGHT（B1）
STOP（B1）
ﾊﾟﾈﾙﾁｪﾝｼﾞｽｲｯﾁ（後）
START ｽｲｯﾁ（後）
ﾊﾟﾈﾙﾁｪﾝｼﾞｽｲｯﾁ
照明（後）
ｽﾀｰﾄｽｲｯﾁ照明（後）
2
CN16
START LIGHT（B2）
PNL CHANGE（B2）
1
7
9
4
NO
NO NO
NC NC
NO
STOP ｽｲｯﾁ（前）
S104F
S102F
START（B2）
5
8
S102F
S104F
S103F
3
PNL CHANGE
LIGHT（B2）
STOP（B2）
ﾊﾟﾈﾙﾁｪﾝｼﾞｽｲｯﾁ（前）
START ｽｲｯﾁ（前）
ﾊﾟﾈﾙﾁｪﾝｼﾞｽｲｯﾁ
照明（前）
ｽﾀｰﾄｽｲｯﾁ照明（前）
6
6
ID3:Do01
ID3:Di06
ID3:Di04
ID3:Do02
ID3:Do03
2
1
3
5
ID3:Di12
M
4
6
M177
CN10
CPU2FAN
FAN アラーム
:1
XLAMP
:2
:3
:4
:5
:6
:7
:8
:10
:9
:1
:2
:3
:4
:5
:6
:1
X:H11B
:2
:2
:3
:1
:5
:4
:2
:6
:1
:3
:3
:3
:3
XLAMP
:1
X:H11F
:2
X:H01
X:M106
:2
:1
X:M105
:2
:1
X:M101
:2
:1
X:M102
XFAN
:2
XOPNL-B
:3
:6
:1
:5
:7
:9
:2
XOPNL-F
:3
:6
:1
:5
:7
:9
X:M177:1
:2
:3
X1029
X0115
X0116
X0110
:2
:1
:3
U01
IO PCB
24A2
24A2
24A2
24A2
24A2
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A2
10
24A2
24A2
10
24A2
24A6
24A6
10
10
Out Port
Out Port
:2
X10115
:3
:6
:1
:5
:7
:8
[D-/04/5C]
S101B
[D-/04/5B]
S101F
:4
筺体下後冷却ファン
M
M105
Out Port
In Port
Out Port
FAN アラームOP
4-27
5OM-1750
1303-001-(31010WD---1004)
IO 基板 U01 接続回路 4
X0119
U01
IO PCB
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
+
-
OUT
NST-1
:3
:2
:1
:4
:7
:5
:6
BL
BK
BR
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
:10
:9
:8
:11
XUP1
:2
:1
BK
R
XUP2
:2
:1
XUP3
:2
:1
XUP1
:4
:3
BK
R
BK
R
BK
R
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
+
-
OUT
:3
:2
:1
:4
:7
:5
BL
BK
BR
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
:10
:9
:8
:11
XUP4
:2
:1
BK
R
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
CN19 CN20
ID5 Di00
ID5 Di02
ID5 Di04
ID5 Di01
ID5 Di03
ID5 Di05
ID5 Do00
ID5 Di06
ID5 Di07
ID5 Di08
ID5 Di09
ID5 Di10
ID5 Di11
ID5 Do04
ID5 Do05
ID5 Do06
ID5 Do07
ID5 Do01
ID5 Do02
ID5 Do03
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
24A3
24A3
24A3
24A3
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
10
24A6
24A3
24A3
24A3
24A3
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
+
-
OUT
:3
:2
:1
:4
:7
:5
:6
BL
BK
BR
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
:10
:9
:8
:11
:6
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
+
-
OUT
:3
:2
:1
:4
:7
:5
BL
BK
BR
D.ON
L.ON
-
BL
BK
W
BR
+
:10
:9
:8
:11
:6
:12
:12
:12
:12
Y-SH1
Y-UP1
Y-NST
Y-NST
Y-NST
NST-2
NST-3
NST-4
X0120
1 2 3 4 5 6 7 8
A
B
C
D
E
F
前側 (B2)
NST 下限検出 -1
NST シャッタ閉確認 -1
NST クランプ確認 -1
NST 下限検出 -2
NST シャッタ閉確認 -2
NST クランプ確認 -2
NST シャッタ開閉 -1
NST 上昇 -1
NST 上昇 -2
NST 上昇 -3
前側 (B2)
NST 下限検出 -3
NST シャッタ閉確認 -3
NST クランプ確認 -3
NST 下限検出 -3
NST シャッタ閉確認 -4
NST クランプ確認 -4
NST 上昇 -4