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2-20 5OM-1750 1305-002 B_DWN1 B_SH1 Y_UP1 Y_SH B_CMP1 B161 1 記 号 名 称 記 号 名 称 Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1 Y_UP1 多機能ノズルストッカ 2 上昇 1 B_DWN1 多機能ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1 B_SH1 多機能ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1 B_CMP1 多機能ノズルストッカ 2 クランプ確認 1 B_1611…
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1305-002
多機能ヘッド部レイアウト
センサ負荷配置図
Y146
M142(1L,2L)
M141(1Z,2Z)
B144
NOZZLE1 NOZZLE2
Y145
B143
記 号 名 称 記 号 名 称
M141 ノズル Z 軸モータ B143 高さ検出センサ
M142 ノズル L 軸モータ B144 L 軸 - オーバーラン
Y145 真空バルブ
Y146 真空破壊バルブ
2-20
5OM-1750
1305-002
B_DWN1
B_SH1
Y_UP1
Y_SH
B_CMP1
B1611
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 多機能ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 多機能ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 多機能ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 多機能ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
B_1611 多機能ノズルストッカ 2 浮き検出
多機能ノズルストッカ部レイアウト
センサ負荷配置図
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3-A
3 章
部品配置図
この章では、各部のレイアウトなどを記載しています。
高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分ご注意ください。
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