YS100操作.pdf - 第74页
2-15 2 ■轴移动 「轴移动」画面 1 2 3 4 5 6 26206-L1-00 按钮名称 功能 1 扩大、缩小(+、-) 进行图像的扩大与缩小。 (16 倍〜 1/16 倍) 2 标记照明 可以手动方式更改标记照明。不影响数据。 3 PTP 对象自动移至指定坐标。 4 步进方式 用方向键移动步进行程中指定的量。 5 方向键 要移至想要移动的方向时使用。 6 制动 要在紧急停机状态下解除制动时使用。 (仅限 W 轴和 PU 轴)…

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2.3 装置画面
说明「装置」画面内的手动操作按钮。
■传送装置手动操作
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传送装置手动按钮
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26204-L1-00
按钮名称 功能
1 基板传送 从入口或待机位置移动基板至安装位置并固定。
2 基板传出 解除基板的固定状态,并将基板传送至出口挡板位置。
3 传送宽度
显示传送宽度的调节对话框,输入数值
按 [OK] 按钮后,传送宽度变为指定的
宽度。
4 轴移动 用手动方式移动轴时使用。
5 左、右 使传送带转动。
6 低速左、右 使传送带低速转动。
7 出口挡板 使传出的基板停在出口处时使用。
8 主挡板 使传入传送装置内的基板停在安装位置时使用。
9 入口挡板 使传入的基板停在待机位置时使用。
10 顶板 输入基板的厚度后,顶板上升,从下方(基板的背面)固定基板。
11 基板夹具 从下方(基板的背面)夹住基板的边缘固定。
12 双基板台 使基板台 1 与基板台 2 同步运作时使用。

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■轴移动
「轴移动」画面
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26206-L1-00
按钮名称 功能
1 扩大、缩小(+、-) 进行图像的扩大与缩小。(16 倍〜 1/16 倍)
2 标记照明 可以手动方式更改标记照明。不影响数据。
3 PTP 对象自动移至指定坐标。
4 步进方式 用方向键移动步进行程中指定的量。
5 方向键 要移至想要移动的方向时使用。
6 制动
要在紧急停机状态下解除制动时使用。(仅限 W 轴和 PU 轴)
如果将伺服置于 ON 状态,制动将自动解除。

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■Head 手动操作
「装置」-「Head」画面
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26207-L1-00
按钮名称 功能
1 吸气 使各 Head 的吸气 ON/OFF。
2 排气 使各 Head 的排气 ON/OFF。
3 吸嘴 STN 开闭器 开闭吸嘴交换站的开闭器。
4 更换吸嘴
显示「更换吸嘴」对话框,指定 Head 和吸嘴
类型进行吸嘴更换。
5 目前吸嘴列表 显示目前 Head 上所安装的吸嘴类型的列表。
6 轴移动 要移动轴时使用。与「传送装置」的轴移动相同。
7 清扫排气 显示执行吸嘴吸嘴轴排气的确认。