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Rev1.00 动作说明书 3-3 < 各轴原点复归前的预备动作 > 轴 预备动作的内容 X ， Y 如果在近点限位开关上， 则以 jog 方式向离开近点限位开关的方向移动， 在 近点限位开关变为 OFF 处停止 jog 。 Z 进行的预备动作是，使原点复归的开始高度与距近点限位开关边缘约 6mm 的位置对齐。 θ 当无条件地进行原点复归动作时， 如果 Z 相与原点复归开始位置离开过多， 则以爬行速度寻找 Z 相需要非常长的…
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3-2
近点ドグ
クリープ速度
起動
原点復帰速度
原点
Z相ﾊﾟﾙｽ
ドグクレードル式原点復帰
近点ドグ
Z相ﾊﾟﾙｽ
原点
ｽｹｰﾙ原点信号検出式原点復帰
起動
原点復帰速度
クリープ速度
近点ドグで減速
反転
近点ドグで減速
反転
限位开关起点式原点复归
起动
Z 相脉冲
原点复归速度
爬行速度
到限位开关减速
原点
反转
近点限位开关
比例原点信号检测式原点复归
起动
Z 相脉冲
原点复归速度
到限位开关减速
反转
近点限位开关
爬行速度
原点
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3-3
<各轴原点复归前的预备动作>
轴 预备动作的内容
X，Y 如果在近点限位开关上，则以 jog 方式向离开近点限位开关的方向移动，在
近点限位开关变为 OFF 处停止 jog。
Z 进行的预备动作是，使原点复归的开始高度与距近点限位开关边缘约 6mm
的位置对齐。
θ 当无条件地进行原点复归动作时，如果 Z 相与原点复归开始位置离开过多，
则以爬行速度寻找 Z 相需要非常长的时间。进行的预备动作是，为了缩短
这一时间而以高速寻找 Z 相，使原点复归开始点位于 Z 相附近。
3-1-2
支撑台原点复归动作
支撑台原点复归的过程如下所示。
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
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3-4
3-2 基板传送
＜上面图＞
＜正面图＞
① IN 电动机（步进电动机） ② STATION 电动机（步进电动机）
③ JOINT 电动机（步进电动机） ④ STATION 电动机（步进电动机）
⑤ OUT 电动机（步进电动机） ⑥ IN传感器
⑦ WAIT 传感器 ⑧ IN-STOP传感器 ⑨ IN-C
・
OUT 传感器
⑩ JOINT 传感器 ⑪ OUT-STOP传感器 ⑫ OUT-C
・
OUT 传感器
⑬ OUT 传感器 ⑭ 止动器 ⑮ Y推进器
⑯ 支撑台电动机（步进电动机） ⑰ 支撑台原点传感器
异常种类 内容
IN 缓冲异常 1) IN电动机 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON。
2) IN 电动机转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON。
3) IN 传感器 ON，从 IN 电动机开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON。
（有关时间，由机械控制参数决定）
4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
入口侧中心站异常 1) 入口侧中心电动机连续转动 6 秒钟以上。
2) 入口侧 C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON。
3) 从入口侧中心站向出口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
OUT 缓冲异常 1) OUT电动机连续 6 秒钟以上连续转动。
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON。
3) 从 ReadyIN（ON）信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
支撑台错误 1) 在支撑台电动机上升结束时 T·PIN 传感器启动（以孔为基准时）。
其他 1) 步进电动机错误
2) 支撑台电动机动作故障