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Rev1.00 动作说明书 3-47 ２ 点的 ＢＯＣ 标记时 （ 与区域指定标记相同 ） 如上图所示， ２ 点的 ＢＯＣ 标记的理论坐标为 Ｍ１、Ｍ２ ，各标记检测的坐标为 Ｍ１’、Ｍ２’ 。 此时， 把 Ｍ１ 点设为中心， 把 Ｍ２ 点转动 ９０° 后的坐标作为 Ｍｖ ，在 Ｍ１’ 点为中心， 把 Ｍ２点 转动 ９０° 后的坐标作为 Ｍｖ’ 。 把 Ｍｖ、Ｍｖ’ 分别作为设想的第 3 点的 ＢＯＣ 标记的理论坐标、 物理坐标， 与 …
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3-46
这里，把③式的值作为Ａ，把④式的值作为Ｂ的式子①②可以表示以下的事情。
（Ｍ１→Ｐ）＝Ｂ（Ｍ１→Ｍ３）＋Ａ（Ｍ１→Ｍ２） ⑤
（Ｍ１’→Ｐ’）＝Ｂ（Ｍ１’→Ｍ３’）＋Ａ（Ｍ１’→Ｍ２’） ⑥
⑤⑥式中，Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｐ、Ｍ１’、Ｍ２’、Ｍ３’、Ｐ’为原点的直交坐标上的位置显示分别作为
（ｘ１、ｙ１）、（ｘ２、ｙ２）、（ｘ３、ｙ３）、（ｘ１’、ｙ１’）、（ｘ２’、ｙ２’）、（ｘ３’、ｙ３’）、（Ｘ、Ｙ）的话，则为
（ｘｐ、ｙｐ）－（ｘ１、ｙ１）＝Ｂ{（ｘ３、ｙ３）－（ｘ１、ｙ１）}＋Ａ{（ｘ２、ｙ２）－（ｘ１、ｙ１）}
（Ｘ、Ｙ）－（ｘ１’、ｙ１’）＝Ｂ{（ｘ３’、ｙ３’）－（ｘ１’、ｙ１’）}＋Ａ{（ｘ２’、ｙ２’）－（ｘ１’、ｙ１’）}。
将此分解到 X 轴 Y 轴的各式中之后，计算
ｘｐ－ｘ１＝Ｂ（ｘ３－ｘ１）＋Ａ（ｘ２－ｘ１） ⑦
ｙｐ－ｙ１＝Ｂ（ｙ３－ｙ１）＋Ａ（ｙ２－ｙ１） ⑧
Ｘ－ｘ１’＝Ｂ（ｘ３’－ｘ１’）＋Ａ（ｘ２’－ｘ１’） ⑨
Ｙ－ｙ１’＝Ｂ（ｙ３’－ｙ１’）＋Ａ（ｙ２’－ｙ１’） ⑩
的４元联立方程式。此时，Ａ，Ｂ，Ｘ，Ｙ以外是已知数值，通过解此 4 元联立方程，可以求得以Ｐ’的Ｏ为
园地按的位置指定（Ｘ，Ｙ）。
此时，从⑦⑧计算
Ａ＝{ｘｐ－ｘ１－Ｂ（ｘ３－ｘ１）}／（ｘ２－ｘ１）＝{ｙｐ－ｙ１－Ｂ（ｙ３－ｙ１）}／（ｙ２－ｙ１） ⑪
Ｂ＝{ｘｐ－ｘ１－Ａ（ｘ２－ｘ１）}／（ｘ３－ｘ１）＝{ｙｐ－ｙ１－Ａ（ｙ２－ｙ１）}／（ｙ３－ｙ１） ⑫
式⑪⑫分别为Ｂ，则Ａ解为
Ｂ＝{（ｙｐ－ｙ１）(ｘ２－ｘ１)－(ｘｐ－ｘ１)(ｙ２－ｙ１)}／{（ｙ３－ｙ１）(ｘ２－ｘ１)－(ｘ３－ｘ１)(ｙ２－ｙ１)} ⑬
Ａ＝{（ｙｐ－ｙ１）(ｘ３－ｘ１)－(ｘｐ－ｘ１)(ｙ３－ｙ１)}／{（ｙ２－ｙ１）(ｘ３－ｘ１)－(ｘ２－ｘ１)(ｙ３－ｙ１)} ⑭
把此结果求得的Ａ，Ｂ代入⑨⑩，就可以方便地计算出Ｘ，Ｙ。
另外，式⑬⑭中分母为０时，Ａ，Ｂ为无限大，不能进行计算。此时哪个式子都可以成为
（ｙ３－ｙ１）(ｘ２－ｘ１)＝(ｘ３－ｘ１)(ｙ２－ｙ１)
用(ｘ２－ｘ１)(ｘ３－ｘ１)除两边之后，得出
（ｙ３－ｙ１）／(ｘ３－ｘ１)＝(ｙ２－ｙ１)／(ｘ２－ｘ１)
则Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３在 1 直线上。
此时，ＢＯＣ标记的 3 点无意义，所以为数据异常。
角度修正值θ作为指定（Ｍ１→Ｐ）和（Ｍ
’→Ｐ’）的角，经计算可以得出
θ＝ａｔａｎ{（Ｘ’－ｘ１’）／（Ｙ’－ｙ１’）}－ ａｔａｎ{（ｘｐ－ｘ１）／（ｙｐ－ｙ１）}
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２点的ＢＯＣ标记时（与区域指定标记相同）
如上图所示，２点的ＢＯＣ标记的理论坐标为Ｍ１、Ｍ２，各标记检测的坐标为Ｍ１’、Ｍ２’。
此时，把Ｍ１点设为中心，把Ｍ２点转动９０°后的坐标作为Ｍｖ，在Ｍ１’点为中心，把Ｍ２点转动９０°
后的坐标作为Ｍｖ’。把Ｍｖ、Ｍｖ’分别作为设想的第 3 点的ＢＯＣ标记的理论坐标、物理坐标，与Ｍ１，Ｍ２，
Ｍ１’、Ｍ２’一起把第 3 点作为ＢＯＣ标记时同样，用Ｐ点的坐标计算出Ｐ’点坐标，进行坐标修正。
图３－１１－４
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3-11-4 OCC（Offset Correction Camera）的说明
3-11-4-1 OCC配件的构成
3-11-4-2 照明种类
照明种类 颜色 功能 特点
垂直照明 红 照射基板标记周围
角度照明 红 照射基板标记中央
朝上方的 LED 照射光用棱镜管反射，对光轴
取一定的角度，使挠性基板上的标记对比度
变得良好。
镜头组件
照明组件
XM 底座 A (B)
①带垫片内六角螺钉
（×2）
②带垫片内六角螺钉
（×3）