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Rev1.00 动作说明书 3-5 3-2-1 传送电动机 如下表所示，电动机的旋转方向根据机器规格而不同。 传送方向 左 → 右 右 → 左 基准 身前 里侧 身前 里侧 正转 CCW CW CW CCW 电动机旋转方向 反转 CW CCW CCW CW 速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。 速度档次有高速· 中速· 低速 3 级以及基板夹紧 · 重新夹紧时使用的预备进给 1 · 预备进给 2 。 并且， 通 过参数设定，高速可以切…
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3-4
3-2 基板传送
＜上面图＞
＜正面图＞
① IN 电动机（步进电动机） ② STATION 电动机（步进电动机）
③ JOINT 电动机（步进电动机） ④ STATION 电动机（步进电动机）
⑤ OUT 电动机（步进电动机） ⑥ IN传感器
⑦ WAIT 传感器 ⑧ IN-STOP传感器 ⑨ IN-C
・
OUT 传感器
⑩ JOINT 传感器 ⑪ OUT-STOP传感器 ⑫ OUT-C
・
OUT 传感器
⑬ OUT 传感器 ⑭ 止动器 ⑮ Y推进器
⑯ 支撑台电动机（步进电动机） ⑰ 支撑台原点传感器
异常种类 内容
IN 缓冲异常 1) IN电动机 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON。
2) IN 电动机转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON。
3) IN 传感器 ON，从 IN 电动机开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON。
（有关时间，由机械控制参数决定）
4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
入口侧中心站异常 1) 入口侧中心电动机连续转动 6 秒钟以上。
2) 入口侧 C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON。
3) 从入口侧中心站向出口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
OUT 缓冲异常 1) OUT电动机连续 6 秒钟以上连续转动。
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON。
3) 从 ReadyIN（ON）信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
支撑台错误 1) 在支撑台电动机上升结束时 T·PIN 传感器启动（以孔为基准时）。
其他 1) 步进电动机错误
2) 支撑台电动机动作故障
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3-5
3-2-1 传送电动机
如下表所示，电动机的旋转方向根据机器规格而不同。
传送方向 左→右 右→左
基准 身前 里侧 身前 里侧
正转 CCW CW CW CCW 电动机旋转方向
反转 CW CCW CCW CW
速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。
速度档次有高速·中速·低速 3 级以及基板夹紧·重新夹紧时使用的预备进给 1·预备进给 2。并且，通
过参数设定，高速可以切换到 400mm/s 或 300mm/s。分解能为 252µｍ/脉冲。
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3-6
3-2-2 支撑台
支撑台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
机械上方限制高度
机械行程