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Rev1.00 动作说明书 3-6 3-2-2 支撑台 支撑台、机械控制以及有效行程 基板上面高度 0.5mm 5mm 有效行程 52.5mm MS 参数输入 ２ mm 7mm 40mm ( 最大 ) 最大基板下限制 字亠佩殻 59mm ④ 原点高度位置 Ｂ ( 原点传感器 ON 方向 ) Ａ ( 原点传感器 OFF 方向 ) 变换器检测零相 ③ 软下方限制位置 ① 机械下方限制位置 ② 字亠貧圭㏍㍉崙了崔 ①： 下方向的机械限制高度 …
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3-5
3-2-1 传送电动机
如下表所示，电动机的旋转方向根据机器规格而不同。
传送方向 左→右 右→左
基准 身前 里侧 身前 里侧
正转 CCW CW CW CCW 电动机旋转方向
反转 CW CCW CCW CW
速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。
速度档次有高速·中速·低速 3 级以及基板夹紧·重新夹紧时使用的预备进给 1·预备进给 2。并且，通
过参数设定，高速可以切换到 400mm/s 或 300mm/s。分解能为 252µｍ/脉冲。
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3-6
3-2-2 支撑台
支撑台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
机械上方限制高度
机械行程
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3-7
3-2-2-1 支撑台电动机
FX-3 型中，支撑台的上升速度能从高速·中速·低速·超低速中选择。支撑台的上升速度被设定为低速·超低
速时，夹紧的预备进给动作也自动地变成超低速（16mm/s）。并且，控制方法在上升时为时间固定，
在下降时为加速度固定。
再夹紧时的顺序如下图所示。
速度
減速時間
減速距離
予備送り速度
予備送り距離
減速停止時間予備送り時間1
BUテーブル上昇時間
BUテーブル
上昇待ち時間
基板クランプ時間
予備送り時間2
支撑台上升时机、X 推杆动作开始时机根据支撑台上升速度进行切换。
速度
预备进给时间 1
减速距离
减速时间
预备进给速度
预备进给距离
预备进给时间 2
减速停止时间
BU 台上升时间
基板夹紧时间
BU 台上升
等待时间
STOP