FX3_动作说明书.pdf - 第19页
Rev1.00 动作说明书 3-8 3-2-3 基板传送同步时间图 1 ） 传送速度：高速；支撑台上升速度：高速 INｾ ﾝ ｻ WAIT ｾﾝｻ STOPｾﾝｻ INﾓ ｰ ﾀ ｾﾝﾀｰﾓｰ ﾀ ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ 100ms ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ 外形基準(Xﾌ ﾟｯｼ ｬ) 外形基準(Y ﾌﾟｯ ｼｬ) 100ms 100ms 動作時間 600 ms 400ms 400ms 予 備送 り ( 距 離 43 .8 5 mm…
Rev1.00
动作说明书
3-7
3-2-2-1 支撑台电动机
FX-3 型中，支撑台的上升速度能从高速·中速·低速·超低速中选择。支撑台的上升速度被设定为低速·超低
速时，夹紧的预备进给动作也自动地变成超低速（16mm/s）。并且，控制方法在上升时为时间固定，
在下降时为加速度固定。
再夹紧时的顺序如下图所示。
速度
減速時間
減速距離
予備送り速度
予備送り距離
減速停止時間予備送り時間1
BUテーブル上昇時間
BUテーブル
上昇待ち時間
基板クランプ時間
予備送り時間2
支撑台上升时机、X 推杆动作开始时机根据支撑台上升速度进行切换。
速度
预备进给时间 1
减速距离
减速时间
预备进给速度
预备进给距离
预备进给时间 2
减速停止时间
BU 台上升时间
基板夹紧时间
BU 台上升
等待时间
STOP
Rev1.00
动作说明书
3-8
3-2-3 基板传送同步时间图
1） 传送速度：高速；支撑台上升速度：高速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms
100ms
動作時間 600ms
400ms
400ms
予備送り ( 距離 43.85mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間 430ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm)
動作時間 200ms
(2.8mm)
56mm/s400mm/s
2） 传送速度：高速；支撑台上升速度：中速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms
100ms
動作時間 960ms
400ms
400ms
予備送り ( 距離 43.85mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間 430ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm)
動作時間 200ms
(2.8mm)
56mm/s
360ms
400mm/s
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.85mm）
动作时间 600ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.85mm）
动作时间 960ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms
Rev1.00
动作说明书
3-9
3） 传送速度：高速；支撑台上升速度：低速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms
100ms
動作時間
1080ms
1650ms
480ms
予備送り ( 距離 43.7mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間
430ms
(0.7mm)
(0.1mm + 22.9mm)
動作時間
200ms
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
4） 传送速度：高速；支撑台上升速度：超低速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms 100ms
動作時間
2160ms
1650ms
1560ms
予備送り ( 距離 43.7mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間
430ms
(0.7mm)(0.1mm + 22.9mm)
動作時間
200ms
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.7mm）
动作时间 1080ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.7mm）
动作时间 2160ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms