TCM-X110_X210_X300(D) 4_Maintenance and Troubleshoot.pdf - 第103页

2 . 2 2 . 2 2 . 2 2 . 2 2 . 2 重 要 保 修 品 列 表 重 要 保 修 品 列 表 重 要 保 修 品 列 表 重 要 保 修 品 列 表 重 要 保 修 品 列 表 预 测 几 年 内 消 耗 完 的 元 件 列 表 。 请 作 为 参 考 。 有 关 重 要 保 修 品 的 交 换 方 法 , 因 需 要 高 度 技 术 , 请 咨 询 我 公 司 服 务 员 。 ( 1 ) 机 械 元 件 区 组 …

100%1 / 339
0308-001 1-89
2 .2 .
2 .2 .
2 .
2 .2 .
2 .2 .
2 .
2 . 12 . 1
2 . 12 . 1
2 . 1
(a)
(b) 1 . ·
(c)
(1)
//
//
/
使 使
使 使
使
F i g . N oF i g . N o
F i g . N oF i g . N o
F i g . N o
//
//
/
((
((
(
))
))
)
( 2 ) 装元
//
//
/
使 使
使 使
使
F i g . N oF i g . N o
F i g . N oF i g . N o
F i g . N o
//
//
/
((
((
(
))
))
)
( Z 1 1 )( Z 1 1 )
( Z 1 1 )( Z 1 1 )
( Z 1 1 )
( Z 2 1 )( Z 2 1 )
( Z 2 1 )( Z 2 1 )
( Z 2 1 )
( Z 3 1 )( Z 3 1 )
( Z 3 1 )( Z 3 1 )
( Z 3 1 )
( Z 4 1 )( Z 4 1 )
( Z 4 1 )( Z 4 1 )
( Z 4 1 )
( Z 5 2 )( Z 5 2 )
( Z 5 2 )( Z 5 2 )
( Z 5 2 )
( Z 6 2 )( Z 6 2 )
( Z 6 2 )( Z 6 2 )
( Z 6 2 )
( Z 7 1 )( Z 7 1 )
( Z 7 1 )( Z 7 1 )
( Z 7 1 )
( Z 8 1 )( Z 8 1 )
( Z 8 1 )( Z 8 1 )
( Z 8 1 )
( Z 9 4 )( Z 9 4 )
( Z 9 4 )( Z 9 4 )
( Z 9 4 )
( Z 1 1 8 )( Z 1 1 8 )
( Z 1 1 8 )( Z 1 1 8 )
( Z 1 1 8 )
( Z 5 5 2 )( Z 5 5 2 )
( Z 5 5 2 )( Z 5 5 2 )
( Z 5 5 2 )
( Z 9 0 1 )( Z 9 0 1 )
( Z 9 0 1 )( Z 9 0 1 )
( Z 9 0 1 )
630 048 7831
630 098 5740
630 048 0849
630 116 7886
630 117 0701
630 069 3607
630 052 9517
630 052 9524
630 052 9531
630 052 9548
630 067 1865
630 068 3103
630 052 9579
630 052 9586
630 078 2295
630 083 3430
630 079 5370
630 052 9593
AIR CLEAN
EQPT
TUBE
SEAL
PLATE(CUTTER)
PLATE(CUTTER)
ROD
NOZZLE(Z11)
NOZZLE(Z21)
NOZZLE(Z31)
NOZZLE(Z41)
NOZZLE(Z52)
NOZZLE(Z62)
NOZZLE(Z71)
NOZZLE(Z81)
NOZZLE(Z94)
NOZZLE(Z118)
NOZZLE(Z552)
NOZZLE(Z901)
24
12
120
1
1
10
12
12
12
12
12
12
12
12
12
12
12
12
288
12
240
1
1
10
24
12
12
12
12
12
12
24
24
24
24
12
B-2
B-2
BB-3
EC-1
ZS-2
ZS-2
Note bNote b
Note bNote b
Note b
Note bNote b
Note bNote b
Note b
Note bNote b
Note bNote b
Note b
Note bNote b
Note bNote b
Note b
Note cNote c
Note cNote c
Note c
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
---
LM-100
630 036 8642
LAMP
3
N o t e bN o t e b
N o t e bN o t e b
N o t e b
EB-8
3
2 . 22 . 2
2 . 22 . 2
2 . 2
(1)
F i g . N oF i g . N o
F i g . N oF i g . N o
F i g . N o
使 使
使 使
使
((
((
(
))
))
)
(a)
(b)
0308-001 1-90
((
((
(
))
))
)
((
((
(
))
))
)
630 116 6438
630 117 0893
630 055 2195
630 003 6718
630 057 0076
630 116 0160
PLATE
PLATE
VACUUM
PUMP
AIR LINE
EQPT
PIPE
FITTING
CORD
1
1
1
1
12
1
3
2
2
2
2
2
2 . 22 . 2
2 . 22 . 2
2 . 2
---
---
---
---
---
---
N o t e ( a )N o t e ( a )
N o t e ( a )N o t e ( a )
N o t e ( a )
N o t e ( b )N o t e ( b )
N o t e ( b )N o t e ( b )
N o t e ( b )
EC-1
EC-1
D-1
LB-1
BB-3
B-4
(2)
F i g . N oF i g . N o
F i g . N oF i g . N o
F i g . N o
使 使
使 使
使
((
((
(
))
))
)
630 090 9692 UNIT,DRIVER D2890A 6 B-5
( D D( D D
( D D( D D
( D D
))
))
)
( P M D )( P M D )
( P M D )( P M D )
( P M D )
630 119 8330 UNIT,DRIVER #D3390 1 RL-2
线 线
线 线
线
( T R( T R
( T R( T R
( T R
))
))
)
( P M D )( P M D )
( P M D )( P M D )
( P M D )
X YX Y
X YX Y
X Y
( C H W( C H W
( C H W( C H W
( C H W
))
))
)
( B P C )( B P C )
( B P C )( B P C )
( B P C )
630 119 8323 UNIT,DRIVER #D3380 2 RL-2
LL
LL
L
( L C V W( L C V W
( L C V W( L C V W
( L C V W
))
))
)
( P M D )( P M D )
( P M D )( P M D )
( P M D )
L 2L 2
L 2L 2
L 2
( L 2 C V( L 2 C V
( L 2 C V( L 2 C V
( L 2 C V
))
))
)
RR
RR
R
( R C V W( R C V W
( R C V W( R C V W
( R C V W
))
))
)
R 2R 2
R 2R 2
R 2
( R 2 C V( R 2 C V
( R 2 C V( R 2 C V
( R 2 C V
))
))
)
630 119 8323 UNIT,DRIVER #D3380 1 RM-1
( P M D )( P M D )
( P M D )( P M D )
( P M D )
((
((
(
CC
CC
C
XX
XX
X
C YC Y
C YC Y
C Y
))
))
)
630 086 8159 UNIT,DRIVER SGDH-50AE-R 1 RM-1
( S M D )( S M D )
( S M D )( S M D )
( S M D )
( H( H
( H( H
( H
))
))
)
630 120 6271 UNIT,DRIVER #SGDH-50AE- 4 RL-5
( S M D )( S M D )
( S M D )( S M D )
( S M D ) RY397
( F 1( F 1
( F 1( F 1
( F 1
轴、
轴、
F 2F 2
F 2F 2
F 2
轴、
轴、
F 3F 3
F 3F 3
F 3
轴、
轴、
F 4F 4
F 4F 4
F 4
))
))
)
630 006 7473 UNIT,DRIVER SGDH-30AE-R 1 RL-2
X YX Y
X YX Y
X Y
( X( X
( X( X
( X
))
))
)
( S M D )( S M D )
( S M D )( S M D )
( S M D )
630 086 7480 UNIT,DRIVER SGDH-15AE-R 1 RL-2
X YX Y
X YX Y
X Y
( Y( Y
( Y( Y
( Y
))
))
)
( S M D )( S M D )
( S M D )( S M D )
( S M D )
( a )( a )
( a )( a )
( a )
630 096 9559 UNIT,DRIVER SGDH-10AE-R 1
( b )( b )
( b )( b )
( b )
630 086 8630 UNIT,DRIVER SGDH-A5AE-R 1 RL-2
X YX Y
X YX Y
X Y
( S M D )( S M D )
( S M D )( S M D )
( S M D )
( X Y T R( X Y T R
( X Y T R( X Y T R
( X Y T R
))
))
)
630 086 8166 UNIT,DRIVER SGDH-02AE-R 2 RM-2
( C Z( C Z
( C Z( C Z
( C Z
))
))
)
( S M D )( S M D )
( S M D )( S M D )
( S M D )
( M Z( M Z
( M Z( M Z
( M Z
))
))
)
(a) TCM-X210X300 用元件。
(b) TCM-X110 用元
0308-001 1-91
2 . 22 . 2
2 . 22 . 2
2 . 2