NXT系列 编程手册 1.pdf - 第36页
PRG-NXTS-009S1 2. Job 编制器 NXT 系列 编程手册 23 项目名 说明 Adapter TFM(A)Adapter TFM(B)Adapter TFM(C) 设定 TFM(A )、TFM(B) 和 TFM(C) 单元的 适配器种类。 2Inch： 使用 2 英寸的料盘 3Inch： 使用 3 英寸的料盘 4Inch(Standard) ： 使用 4 英寸的料盘 ( 标准 )4Inch(Custom)： 使用 4 …
2. Job 编制器 PRG-NXTS-009S1
22 NXT 系列 编程手册
4. 设定模组配置。各模组数据中点击左侧的 [ ] 键，请从对话框选择工作模组类型、头
类型、Stage 类型、Nozzle Changer 类型。
注意
·以下组合时无法混载模组。
·也可以在 Field 选择各 Unit，但做无效设定时文本会显示红色及无法执行优化。
5. 请参考以下表格中的说明，必要时，也请进行背景为白色的其他项目的设定。
NXT-2 和 NXT-2c
NXT-2 和 NXT-3c
NXT-3 和 NXT-2c
NXT-3 和 NXT-3c
01PRG-0304E
01PRG-0305
01PRG-0306E
PRG-NXTS-009S1 2. Job 编制器
NXT 系列 编程手册 23
项目名 说明
Adapter
TFM(A)Adapter
TFM(B)Adapter
TFM(C)
设定 TFM(A)、TFM(B) 和 TFM(C) 单元的适配器种类。
2Inch： 使用 2 英寸的料盘 3Inch： 使用 3 英寸的料盘
4Inch(Standard)： 使用 4 英寸的料盘 ( 标准
)4Inch(Custom)： 使用 4 英寸的料盘 ( 比标准薄 )
Adapter
TFL(A)Adapter
TFL(B)
设定 TFL(A) 和 TFL(B) 单元的适配器种类。None: 使用 4
英寸～ JEDEC 规格尺寸的料盘 2Inch： 使用 2 英寸的料盘
3Inch： 使用 3 英寸的料盘 4Inch(Standard)： 使用 4 英寸
的料盘 ( 标准 )。4Inch(Custom)： 使用 4 英寸的料盘 ( 比
标准薄 )
Camera Type 设定元件相机的类型。
P04：这是标准的前光相机。通常使用该相机。
备注 )P04 不对应 NXT-3 和 NXT-3c。
Sidelight：（工作头：H01，H02(F)，OF） 这是侧光相机。
当需要使用侧光进行影像处理时使用该相机，例如处理带
有引脚的元件。
P03：（工作头：H01，H02，G04） 该相机的分辨率高于
Standard 相机，影像获取范围高于 High Resolution 相
机。在 Standard 相机的分辨率不足，但是没有必要使用其
High Resolution 相机时，使用该相机。
备注 )P03 不对应 NXT-3 和 NXT-3c。
P05: （工作头：H08M, H01, H02(F), OF, V12） 通过宽镜
头成批影像获取提高生产率。另外，P05 相机只能搭载在
M6 模组上。不能搭载在 M3 模组上。
备注 )P05 和 V12 的组合不对应 NXT-3 和 NXT-3c。
High Resolution[P014]：（工作头：H01，H02，G04） 这
是高分辨率相机。当不能使用其他相机处理很小的锡球
（例如 CSP 和倒装芯片上的锡球）或者很小的基准定位点
时，使用该相机。
备注 )High Resolution[P014] 不对应 NXT-3 和 NXT-3c。
2. Job 编制器 PRG-NXTS-009S1
24 NXT 系列 编程手册
Camera Type MP03: （工作头 : H01, H02, G04) 高像素对应。维持分辨
率和视野的两方面，对于大宽度元件，能够提高产能。
备注 )MP03 不对应 NXT-3 和 NXT-3c。
MP05: （工作头 : H01, H02, G04, H04(S), H08, H08M,
H12S, H12HS, V12, OF) 高像素对应。维持分辨率和视野的
两方面，对于大宽度元件，能够提高产能。能够分割影像
处理。只能搭载在 NXT-2,NXT-2c 上。（需要进行模组的改
造。）
备注 )MP05 不对应 NXT-3 和 NXT-3c。
P04CL：使用于 NXT-3/NXT-3c 的通用正面光相机。
MP03CL：NXT-3/NXT-3c 用相机 （工作头 : H01, H02(F),
G04(F))
对应高像素。可以在保持分辨率和视野的同时，对大范围
元件具有高产能。可以进行分割影像处理。
MP05CL：NXT-3/NXT-3c 用相机。（工作头 : H01, H02(F),
G04(F), H04, H04S(F), H08, H08M，H12HS, OF)
对应高像素。可以在保持分辨率和视野的同时，对大范围
元件具有高产能。可以进行分割影像处理。
备注 )P04CL,MP03CL,MP05CL 不对应 NXT-2 以及 NXT-
2c。
None：（工作头：V12） 对无元件相机模组 （包含 V-
Advance 模组）的设定。
Camera Position 只 M6 模组显示该设定，此设定用于指定 M6 模组的相机位
置。仅当 M6 模组带有料站托架时设定才有效。
Part Sensor 指定是否安装了元件有无检查传感器。Yes： 安装了。No：
没有安装。
Part Sensor Type 指定检查元件有无的传感器类型。Sensor：使用传感器进
行检查。IPS：IPS 用于检查元件有无以及元件高度。
Calibration Unit 指定是否安装了用于确认吸嘴负荷的校正台单元。Yes：
安装了。No： 没有安装。
Coplanarity 指定模组中是否安装有共面性测定单元。
Sensor: 搭载着传感器类型的共面性检查单元。
3DVer1/ 3DVer2: 搭载着 3D 共面性检查单元。
备注 )
• Sensor 不对应 NXT-3/NXT-3c。
· 3DVer1/3DVer2 是 NXT-3 用共面性检查单元。
Large Die 设定是否对应大型晶圆 （超过□ 12mm 的晶圆）。
Yes: 对应。
No: 不对应。
项目名 说明