SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第175页
5- 7 SER01989020 電源接続・ I/O リスト・その他 第 5 章 2 識別 役割 TE01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01 の 吸着 通 常 0 / 吸 着 1 TE02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02 の 吸着 通 常 0 / 吸 着 1 TE03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03 の 吸着 通 常 0 / 吸 着 1 TE04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04 の 吸着 通 常 0 / 吸 着 1 TE05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05 の 吸着 …
5-
6
SER01989020
電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
2. I/Oリスト
2.1 DO
識別 役割
TA01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA04 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA06 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA07 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA08 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA09 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA12 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12の吸着
通常 0 / 吸着 1
TA13 予備
TA14 予備
TA15 予備
TA16 予備
TB01 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ起動命令
起動 1
TB02 Aﾃｰﾌﾞﾙ 吸装着ｼｰｹﾝｽ設定
吸着 0 / 装着 1
TB03 Aﾃｰﾌﾞﾙ 吸着ﾁｪｯｸｼｰｹﾝｽ設定
無視 0 / ﾁｪｯｸ 1
TB04 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
通常 0 / ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ 1
TB05 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰ起動
TB06 予備
TB07 Aﾃｰﾌﾞﾙ ライト１（移動ｶﾒﾗ用）作動
OFF 0 / ON 1
TB08 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ ｼﾘｱﾙ通信OK OK
通常 早く点滅
HEAD I/O BOARD の LED D21
TB09 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ0
TB10 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ1
TB11 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ2
TB12 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ3
TB13 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ4
TB14 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ5
TB15 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ6
TB16 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ7
識別 役割
TC01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC04 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC06 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC07 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC08 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC09 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC12 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TC13 予備
TC14 予備
TC15 予備
TC16 予備
TD01 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ1 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD02 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ2 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD03 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ3 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD04 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ4 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD05 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ5 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD06 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ6 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD07 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ7 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD08 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ8 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD09 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ9 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD10 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ10 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD11 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ11 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD12 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ12 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TD13 予備
TD14 予備
TD15 予備
TD16 予備
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7
SER01989020
電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
TE01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE13 予備
TE14 予備
TE15 予備
TE16 予備
TF01 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ起動命令
起動 1
TF02 Bﾃｰﾌﾞﾙ 吸装着ｼｰｹﾝｽ設定
吸着 0 / 装着 1
TF03 Bﾃｰﾌﾞﾙ 吸着ﾁｪｯｸｼｰｹﾝｽ設定
無視 0 / ﾁｪｯｸ 1
TF04 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
通常 0 / ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ 1
TF05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰ起動
TF06 予備
TF07 Bﾃｰﾌﾞﾙ ライト3（移動ｶﾒﾗ用）作動
OFF 0 / ON 1
TF08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ ｼﾘｱﾙ通信OK
通常 早く点滅
HEAD I/O BOARD の LED D21
TF09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ0
TF10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ1
TF11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ2
TF12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ3
TF13 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ4
TF14 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ5
TF15 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ6
TF16 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ7
識別 役割
TG01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG13 予備
TG14 予備
TG15 予備
TG16 予備
TH01 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ1 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH02 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ2 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH03 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ3 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH04 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ4 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ5 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH06 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ6 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH07 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ7 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH08 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ8 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ9 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ10 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ11 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ12 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH13 予備
TH14 予備
TH15 予備
TH16 予備
5-
8
SER01989020
電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
TJ01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TJ02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TJ03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TJ04 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TJ05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TJ06 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TJ07 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TJ08 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TJ09 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TJ10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TJ11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TJ12 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TJ13 予備
TJ14 予備
TJ15 予備
TJ16 予備
TK01 ﾌﾞｻﾞｰ
TK02 青/ 黄色ﾗﾝﾌﾟ
消灯時 0 / 点灯時 1
TK03 白/ 赤色ﾗﾝﾌﾟ
点灯時 0 / 消灯時 1
TK04 緑/ 緑色ﾗﾝﾌﾟ
消灯時 0 / 点灯時 1
TK05 基板要求信号
要求時 1
TK06 予備
TK07 予備
TK08 BA OUT（SMEMA）
TK09 予備
TK10 予備
TK11 予備
TK12 予備
TK13 予備
TK14 予備
TK15 予備
TK16 予備
TL01 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ作動
停止 0 / 作動 1
TL02 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 逆転
正転 0 / 逆転 1
TL03 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 低速
低速 1 / 高速 0
TL04 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 高速
低速 0 / 高速 1
TL05 予備
TL06 予備
TL07 予備
TL08 予備
TL09 予備
TL10 予備
TL11 予備
TL12 予備
TL13 予備
TL14 予備
TL15 予備
TL16 予備
識別 役割
TM01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TM02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TM03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TM04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TM05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TM06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TM07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TM08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TM09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TM10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TM11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TM12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TM13 予備
TM14 予備
TM15 予備
TM16 予備
TN01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ
下降 0 / 上昇 1
TN02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ
下降 0 / 上昇 1
TN03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1
下降 0 / 上昇 1
TN04 Aﾃｰﾌﾞﾙｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ
解放 0 / ｸﾗﾝﾌﾟ 1
TN05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｲﾝ
停止 0 / ﾌﾟｯｼｭ 1
TN06 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ
下降 0 / 上昇 1
TN07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ
下降 0 / 上昇 1
TN08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ
下降 0 / 上昇 1
TN09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ
下降 0 / 上昇 1
TN10 Bﾃｰﾌﾞﾙｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ
解放 0 / ｸﾗﾝﾌﾟ 1
TN11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｲﾝ
停止 0 / ﾌﾟｯｼｭ 1
TN12 搬送爪下降
下降 1 / 上昇 0
TN13 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 作動
停止 0 / 作動 1
TN14 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 低速
高速 0 / 低速 1
TN15 Bﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 作動
停止 0 / 作動 1
TN16 Bﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 低速
高速 0 / 低速 1