SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第176页
5- 8 SER01989020 電源接続・ I/O リスト・その他 第 5 章 2 識別 役割 TJ01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1 TJ02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2 TJ03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3 TJ04 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4 TJ05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5 TJ06 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6 TJ07 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7 TJ0…
5-
7
SER01989020
電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
TE01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12の吸着
通常 0 / 吸着 1
TE13 予備
TE14 予備
TE15 予備
TE16 予備
TF01 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ起動命令
起動 1
TF02 Bﾃｰﾌﾞﾙ 吸装着ｼｰｹﾝｽ設定
吸着 0 / 装着 1
TF03 Bﾃｰﾌﾞﾙ 吸着ﾁｪｯｸｼｰｹﾝｽ設定
無視 0 / ﾁｪｯｸ 1
TF04 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
通常 0 / ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ 1
TF05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰ起動
TF06 予備
TF07 Bﾃｰﾌﾞﾙ ライト3（移動ｶﾒﾗ用）作動
OFF 0 / ON 1
TF08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ ｼﾘｱﾙ通信OK
通常 早く点滅
HEAD I/O BOARD の LED D21
TF09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ0
TF10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ1
TF11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ2
TF12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ3
TF13 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ4
TF14 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ5
TF15 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ6
TF16 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ7
識別 役割
TG01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12 の上下
下降時 1 / 上昇時 0
TG13 予備
TG14 予備
TG15 予備
TG16 予備
TH01 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ1 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH02 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ2 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH03 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ3 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH04 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ4 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ5 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH06 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ6 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH07 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ7 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH08 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ8 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ9 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ10 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ11 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞ12 正圧（真空破壊）
通常 0 / ﾌﾞﾛｰ 1
TH13 予備
TH14 予備
TH15 予備
TH16 予備
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電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
TJ01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TJ02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TJ03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TJ04 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TJ05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TJ06 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TJ07 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TJ08 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TJ09 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TJ10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TJ11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TJ12 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TJ13 予備
TJ14 予備
TJ15 予備
TJ16 予備
TK01 ﾌﾞｻﾞｰ
TK02 青/ 黄色ﾗﾝﾌﾟ
消灯時 0 / 点灯時 1
TK03 白/ 赤色ﾗﾝﾌﾟ
点灯時 0 / 消灯時 1
TK04 緑/ 緑色ﾗﾝﾌﾟ
消灯時 0 / 点灯時 1
TK05 基板要求信号
要求時 1
TK06 予備
TK07 予備
TK08 BA OUT（SMEMA）
TK09 予備
TK10 予備
TK11 予備
TK12 予備
TK13 予備
TK14 予備
TK15 予備
TK16 予備
TL01 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ作動
停止 0 / 作動 1
TL02 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 逆転
正転 0 / 逆転 1
TL03 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 低速
低速 1 / 高速 0
TL04 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 高速
低速 0 / 高速 1
TL05 予備
TL06 予備
TL07 予備
TL08 予備
TL09 予備
TL10 予備
TL11 予備
TL12 予備
TL13 予備
TL14 予備
TL15 予備
TL16 予備
識別 役割
TM01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TM02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TM03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TM04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TM05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TM06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TM07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TM08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TM09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TM10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TM11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TM12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TM13 予備
TM14 予備
TM15 予備
TM16 予備
TN01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ
下降 0 / 上昇 1
TN02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ
下降 0 / 上昇 1
TN03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1
下降 0 / 上昇 1
TN04 Aﾃｰﾌﾞﾙｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ
解放 0 / ｸﾗﾝﾌﾟ 1
TN05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｲﾝ
停止 0 / ﾌﾟｯｼｭ 1
TN06 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ
下降 0 / 上昇 1
TN07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ
下降 0 / 上昇 1
TN08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ
下降 0 / 上昇 1
TN09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ
下降 0 / 上昇 1
TN10 Bﾃｰﾌﾞﾙｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ
解放 0 / ｸﾗﾝﾌﾟ 1
TN11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｲﾝ
停止 0 / ﾌﾟｯｼｭ 1
TN12 搬送爪下降
下降 1 / 上昇 0
TN13 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 作動
停止 0 / 作動 1
TN14 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 低速
高速 0 / 低速 1
TN15 Bﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 作動
停止 0 / 作動 1
TN16 Bﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ 低速
高速 0 / 低速 1
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SER01989020
電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
TP01 予備
TP02 予備
TP03 予備
TP04 予備
TP05 予備
TP06 予備
TP07 予備
TP08 予備
TP09 予備
TP10 予備
TP11 予備
TP12 予備
TP13 予備
TP14 予備
TP15 予備
TP16 予備
TQ01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ13 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ15 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR13 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR15 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
識別 役割
TS01 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ1
実行 1
TS02 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ2
実行 1
TS03 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ3
実行 1
TS04 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ4
実行 1
TS05 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ5
実行 1
TS06 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ6
実行 1
TS07 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ7
実行 1
TS08 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ8
実行 1
TS09 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ9
実行 1
TS10 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ10
実行 1
TS11 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ11
実行 1
TS12 Aﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ12
実行 1
TS13 予備
TS14 予備
TS15 予備
TS16 予備
TU01 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ1
実行 1
TU02 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ2
実行 1
TU03 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ3
実行 1
TU04 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ4
実行 1
TU05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ5
実行 1
TU06 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ6
実行 1
TU07 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ7
実行 1
TU08 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ8
実行 1
TU09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ9
実行 1
TU10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ10
実行 1
TU11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ11
実行 1
TU12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ12
実行 1
TU13 予備
TU14 予備
TU15 予備
TU16 予備