KE-3010_20V_操作手册（程序员，管理员用）.pdf - 第361页
操作手册Ⅱ (12) 跟踪时的自动示教 跟踪暂停时，可 进行自动 示教。 自动示教 时，会出 现下列 5 种错误 / 询问。 1) 尺寸显得异常 时 空洞指的是安装 元件的凹 进部分。 空洞尺寸与元件 尺寸相比 显得异常时，显 示如下错 误提示。 2) 浓度异常时 空洞影子浓度异 常时，显 示如下错误提示 。 3) 中心偏移时 设置的吸取数据 与自动示 教校正的吸取数 据差距过 大时，显示如下 错误提示 。 3- 276
操作手册Ⅱ
(11)
跟踪时的验证检查
(
选购项
)
在跟踪暂停时，可进行验证检查。
进行验证检查时，显示如下画面。
此外，验证检查后，检查测定值及结果显示“确定”或“NG”。
关于检查的设置请参见「 3-3-5-2-6 检查 (4) 验证(选购项) 」。
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操作手册Ⅱ
(12)
跟踪时的自动示教
跟踪暂停时，可进行自动示教。
自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。
1) 尺寸显得异常时
空洞指的是安装元件的凹进部分。
空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时，显示如下错误提示。
2) 浓度异常时
空洞影子浓度异常时，显示如下错误提示。
3) 中心偏移时
设置的吸取数据与自动示教校正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。
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操作手册Ⅱ
4) 空洞边缘检测失败时
空洞影子的边缘框检测失败时，显示如下错误提示。
5) 因自动示教出现不能同时吸取时
出现不能同时吸取时，显示如下询问。
精度优先的情况下请按[是]，速度优先的情况下请按[否]。
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