TR7700QE_Software_ch-v3.0_20180328.pdf - 第93页
Test Research, Inc. TR7700Q E User Gu ide – S o f twar e 70 圖 110 ：使用自動 範圍 S/M /L 的灰階影像差異 門檻：選擇設定門檻的 方式。 極限：設定高度範圍的 上下限。 範圍：在設定完極限的 範圍內設定轉換為 灰階影像的實際高 度範圍，在範圍 外的 將不進行轉換 ( 呈現黑 色 ) 。一般而已，範 圍設定越大，其灰 階值差異會縮小 ，而範 圍越小則相對灰…
Test Research, Inc.
TR7700QE User Guide–Software 69
圖 108：HeightMap 法
圖 109：HeightMap 法調整參數
上方的範圍選擇“手動”後，使用者可以自己調整灰階高度極限與範圍，另外也可選擇“自動”的方式。
參數說明
範圍：選擇擷取高度範圍的方式。有手動或自動(S/M/L)，預設為自動(S)，會自動
計算出最適轉換範圍。如下圖所示，分別為範圍為自動(S/M/L)所產生出來的高度
灰階影像。
Test Research, Inc.
TR7700QE User Guide–Software 70
圖 110：使用自動範圍 S/M/L 的灰階影像差異
門檻：選擇設定門檻的方式。
極限：設定高度範圍的上下限。
範圍：在設定完極限的範圍內設定轉換為灰階影像的實際高度範圍，在範圍外的
將不進行轉換(呈現黑色)。一般而已，範圍設定越大，其灰階值差異會縮小，而範
圍越小則相對灰階值對比會增加。
高度灰度比值：顯示轉換後一個灰階值所代表的高度(μm)。轉換的計算方式為(範
圍上限-範圍下限)/灰階範圍。以 HeightMap 法調整參數圖為範例來說，高度灰度
比值 = [(574-(-65)]/256=2.50。
門檻：在設定的實際轉換影像範圍內，設定區分亮區與暗區的門檻值。
備註：當實際轉換範圍太大時， 轉換出的灰階影像對比會太弱。因此，請盡量將實際
轉換範圍縮小至包含有高度分布的區域內(依高度直方圖來判斷)，可得到最大的對比效
果。
Test Research, Inc.
TR7700QE User Guide–Software 71
3.4 檢測框的比對方式
TRAOI 的檢測框測試方式，主要分為幾何學特徵比對、標準化相關性比對、明暗/色彩分布比對
三種，說明如下。
1.
幾何學特徵比對：
選擇一個正常的元件影像作為比對樣本，調整權重與門檻值後擷取其特徵輪廓，然後將待測
元件影像與其樣本特徵輪廓進行比對，檢測是否達到設定值。利用這個原理進行檢測的框例
如[PatMatch]、[Void]的 Sim 模式、[Contour]……等框。
2.
標準化相關性比對：
選擇一個正常的元件影像作為比對樣本，調整權重與門檻值後將待測元件影像與其樣本進行
逐步的畫素(Pixel)灰階值比對，檢測是否達到設定值。利用這個原理進行檢測的框例如
[CorMatch]、[OCV]、[OCR]……等框。
3.
明暗/色彩分布比對：
計算檢測框內明暗/色彩分布的比例是否達到設定值。利用這個原理進行檢測的框例如[Void]
的 Ratio 模式、[Bridge]……等框。