1OM-1321-005_w.pdf - 第170页
6-19 Tg1297-ID-GU 1.4 基板バックアップ吸着治具（基板幅 W “35<=W<=65” ） 1.4.3 プレート ( 品番 13-2) のバリアント 2 数量 1 材質 処理 A5052 なし 単位： mm 0607-001 -(M748-ZI-1302)
6-18
Tg1297-ID-GU
1.4.2 プレート ( 品番 13-1) のバリアント図
A
A'
数量 1
材質
処理
A5052
なし
A-A'断面図
単位： mm
基板形状にしたがって適宜吸着穴をあけてください。
ノート
1.4 基板バックアップ吸着治具（基板幅 W “35<=W<=65”）
0607-001 A(M648-ZI-1301)
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Tg1297-ID-GU
1.4 基板バックアップ吸着治具（基板幅 W “35<=W<=65”）
1.4.3 プレート ( 品番 13-2) のバリアント
2
数量 1
材質
処理
A5052
なし
単位： mm
0607-001 -(M748-ZI-1302)
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Tg1297-ID-GU
1.4.4 ブロック ( 品番 13-3) のバリアント図
単位 : mm
数量 1
材質 A5052
処理 なし
ノート
(a) 各コーナーは、面取り C1 とします。
(b) *1 は、仕上げ代を含んだ値です。
仕上げ寸法につきましては、組付け図を参照してください
1.4 基板バックアップ吸着治具（基板幅 W “35<=W<=65”）
0607-001 -(M748-ZI-1303)