CM101维修手册.pdf - 第140页
CM101-D 维修手册 1.6 560 小时检查一次 ( 每月一次 ) Pa ge 1- 88 4. 将伺服开关置于 OFF (O) 状态。 5. 打开安全盖。 6. 在线阵照相机的上面加盖棉纱布等物。 • 作业中防止灰尘进入到 玻璃内。 7. 压下锁定杆，将基板支撑块向外侧拔出。 ∗ 请用双手慢慢地拔出。 ∗ 注意勿让线阵照相机 (LED 照明上 ) 落上灰尘 或遭到碰撞。 下一页 4X3C-411P 锁定杆 EJM5B -028P…
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1.6 560
小时检查一次
(
每月一次
)
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1.
1.6 560
小时检查一次
(
每月一次
)
1.6.1
基板传送带的注油
∗
在此以通用吸头
(LS8
吸嘴
)
为例进行说明，但高速吸头
(12
吸嘴
)
、多功能吸头
(3
吸嘴
)
也按
同样的步骤进行。
使用工具
−
需要时间
20
分钟
要求
该维护作业，应在电源开关处于
ON ( I )
的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作
业时，请务必将伺服开关置于
OFF (O)
后再打开安全盖。
(
打开安全盖可以切断向
XY
电机的供电
)
请按以下步骤，对基板传送带上的宽度调整用滚珠丝杠和宽度调整用线性轴承注入润滑脂。
∗
进行维护作业时，有必要卸下供料器工作台盖和卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
确认安全盖已关闭，然后将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
2.
显示
<
维护动作
>
画面。
( “1.1.2
维护动作
”)
3.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
支撑销更换上
升
]
键。
•
基板支撑块上升到交换位置。
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3
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小时检查一次
(
每月一次
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4.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
5.
打开安全盖。
6.
在线阵照相机的上面加盖棉纱布等物。
•
作业中防止灰尘进入到玻璃内。
7.
压下锁定杆，将基板支撑块向外侧拔出。
∗
请用双手慢慢地拔出。
∗
注意勿让线阵照相机
(LED
照明上
)
落上灰尘
或遭到碰撞。
下一页
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锁定杆
EJM5B-028P
棉纱布
(
线性照相机的上面
)
基板支撑块
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小时检查一次
(
每月一次
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8.
关闭安全盖。
9.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
10.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
支撑销更换
下降
]
键。
•
基板支撑块下降到原点。
11.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
传送带中间位
置
]
键。
∗
确认无支撑销之后再操作。
•
基板传送带的可移动一侧的轨道将滑动到中间
位置。
12.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
13.
打开安全盖。
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下降
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