CM101维修手册.pdf - 第223页

CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 71 11. 按操作面板上的 + [ 真空泵 ] 。 • 真空泵将会停止运行， 显示状态也从 ON 变为 OFF 状态。 12. 按两次功能键 。 EJM5B -Ma-0018 12 11 EJM5B- C-MMC01-A05-0 0

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CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-170
6.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵将会开动，显示状态也从
OFF
变为
ON
状态。
7.
按操作面板上的
+
pos1
的
[
真
空
]
。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态。
8.
确认更换后的阀吸头的真空值是否小于
−
10
。
(
在
部分上显示
)
9.
按操作面板上的
+
更换后的
pos
的
[
真空
]
。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
10.
确认更换后的阀吸头的真空值是否为
±
2
左右。
(
在
部分上显示
)
∗
对
pos2
、
pos3
也同样重复进行步骤
7. ~ 10.
的
操作。
下一页
EJM5B-Ma-0018
6
7
1
8
ON
ON
EJM5B-Ma-0018
9
2
10
ON
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-171
11.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵将会停止运行，显示状态也从
ON
变为
OFF
状态。
12.
按两次功能键
。
EJM5B-Ma-0018
12
11
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-172
1.10.6
清扫阀的更换
更换步骤
∗
进行维护作业时，有必要卸下供料器工作台盖和卷盘座
(
选购件
)
和整体交换台车
(
选购件
)
。
(
“1.2.2
供料器工作台盖的拆卸和安装
”
、
“1.2.3
卷盘座
(
选购件
)
的拆卸和安装
”
、
“1.2.4
整
体交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装
”)
1.
将电源置于
OFF (O)
状态。
∗
请锁定电源开关。
2.
打开安全盖。
3.
卸下固定螺栓
(2
根
)
，取下清扫阀。
4.
拔出配线连接。
5.
逐根地卸下清扫阀上的配管，接到新阀上。
∗
如果
1
次卸下全部的配管，以后将难以恢复，
所以请
1
根
1
根地拆卸。
6.
接上配线连接器。
7.
安装阀。
EJM4
A
-054P
清扫阀
(
高速吸头
)
安装螺栓
EJM4A-053P
清扫阀
(
多功能吸头
)
EJM5B-C-MMC01-A05-00