CM101维修手册.pdf - 第142页
CM101-D 维修手册 1.6 560 小时检查一次 ( 每月一次 ) Pa ge 1- 90 14. 将润滑脂注入到调整基板传送带宽度的滚 珠丝杠 以及调整宽度的线性轴承 上。 • 使用润滑脂 : MP 润滑脂 2S 请使用润滑脂枪从润滑 脂注入口 ( 可动侧导轨 ) 注油。 : 挤压 1 次 ( 约 0.9 cm 3 ) 请在位于中间位置轴的 两侧涂敷润滑脂。 15. 关闭安全盖。 16. 将伺服开关置于 ON (…
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小时检查一次
(
每月一次
)
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8.
关闭安全盖。
9.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
10.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
支撑销更换
下降
]
键。
•
基板支撑块下降到原点。
11.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
传送带中间位
置
]
键。
∗
确认无支撑销之后再操作。
•
基板传送带的可移动一侧的轨道将滑动到中间
位置。
12.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
13.
打开安全盖。
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下降
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小时检查一次
(
每月一次
)
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14.
将润滑脂注入到调整基板传送带宽度的滚
珠丝杠
以及调整宽度的线性轴承
上。
•
使用润滑脂
: MP
润滑脂
2S
请使用润滑脂枪从润滑脂注入口
(
可动侧导轨
)
注油。
:
挤压
1
次
(
约
0.9 cm
3
)
请在位于中间位置轴的两侧涂敷润滑脂。
15.
关闭安全盖。
16.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
17.
按
[
宽调整
]
键。
18.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
连续动作
]
键。
•
基板传送带的可滑动一侧的轨道将在宽度调整
轴的整个行程上反复移动，由此，润滑脂将被
涂抹到调整宽度的滚珠丝杠以及调整宽度的线
性轴承所有部位上。
(
进行
3
次往返移动后自动
停止。
)
19.
按操作面板上的
UNLOCK
+
[
支撑销更换
上升
]
键。
•
基板支撑块上升到交换位置。
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小时检查一次
(
每月一次
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20.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
21.
打开安全盖。
22.
设置基板支撑块。
∗
请按照原来相同的方向设置。
23.
在步骤
6.
中，将覆盖在线阵照相机上的棉
纱布等物取下。
24.
关闭安全盖。
25.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
26.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
支撑销更换下
降
]
键。
•
基板支撑块下降到原点。
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