CM101维修手册.pdf - 第69页
CM101-D 维修手册 1.1 维护的概要 Pa ge 1- 17 5. 基板传送带 ∗ 有 6 个基板检测传感器。 6. 固定供料器 EJM5B -N610044038AA 供料器安装面 EJM5B -054E 宽度调整同步皮带 调整宽度的滚珠丝杠 调整宽度的线性轴 基板搬送皮带 EJM5B -054E 基板检测传感器 基板支撑块 EJM5B- C-MMC01-A01-0 0
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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3. XY
装置
4.
彩色触摸屏
EJM5B-AA
彩色触摸屏的表面
EJM5B-059E
X
轴滚珠丝杠
Y
轴线性轴承
X
轴线性轴承
Y
轴滚珠丝杠
EJM5B-C-MMC01-A01-00
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-17
5.
基板传送带
∗
有
6
个基板检测传感器。
6.
固定供料器
EJM5B-N610044038AA
供料器安装面
EJM5B-054E
宽度调整同步皮带
调整宽度的滚珠丝杠
调整宽度的线性轴
基板搬送皮带
EJM5B-054E
基板检测传感器
基板支撑块
EJM5B-C-MMC01-A01-00
CM101-D
维修手册
1.1
维护的概要
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7.
卷盘座
(
选购件
)
8.
整体交换台车
(
选购件
)
9.
基板座
支撑装置上限止动器用减震器
2
处
EJM5B-N610043943AA
支撑装置上限止动器用减震器
EJM5B-N610044041AA
空编带箱
4Z4C-15XYC1AA
供料器安装面
空编带箱
EJM5B-C-MMC01-A01-00