CM101维修手册.pdf - 第417页
CM101-D 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 41 ( 图 1) ( 图 2) ( 図 3) ( 图 3) [ 再识别 ] 再次进行基板识别。 [ 无识别 ] 不经识别直接进入到下 一个动作。 [ 通过 ] 自动运转时，使被识别 出的错误基板通过。 [ 图像移动率 ] 设定按下按钮 时的一次移动量。 低 : 0.01 mm , 中 : 0.1 mm, 高 : 2.00 mm [ ( 红色箭头 )] 把识别画面向 ( 红…
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维修手册
3.2
检查和对策
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3.2.3 CPU
外壳温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请确认是否从冷却扇送风口向外排风。
(
无需卸下主体盖。
)
冷却扇位于本机正面。
(
参照下图
)
冷却扇的出风口没有向外送风时，可判断是冷却扇出现故障。需进行更换，届时请与本公司联系。
CPU BOX
冷却扇送风口
(CPU BOX (
主体
)
的底面
)
将真空泵置于
ON
的步骤请参照
“3.2.2
真空泵热异常、环状负荷温度异常
”
。
3.2.4
基板识别错误
1.
通过微调把相机移动至识别标记的位置，并进行再识别
(
图
1)
确认错误画面，识别标记不在识别画面的中央时，请用操作面板的
+
把识别标记移至
中央，按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
2.
清扫识别相机或基板后进行再识别
(
图
2)
确认错误画面，识别标记脏污时要擦拭干净，请按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开
始。
3.
输入正确的坐标之后进行再识别
∗
再次出现识别错误时，
[
无识别
]
和
[
通过
]
被追加显示出来。
请选择其中的一个。
(
图
3)
想中止自动运转和示教时按下
。
EJM5B-AA
444C-454E
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检查和对策
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(
图
1) (
图
2)
(
図
3)
(
图
3)
[
再识别
]
再次进行基板识别。
[
无识别
]
不经识别直接进入到下一个动作。
[
通过
]
自动运转时，使被识别出的错误基板通过。
[
图像移动率
]
设定按下按钮
时的一次移动量。
低
: 0.01 mm,
中
: 0.1 mm,
高
: 2.00 mm
[ (
红色箭头
)]
把识别画面向
(
红色箭头
)
的方向移动。
EJM4A-Pr-0008
EJM4A-Pr-0006
EJM4A-Pr-0007
1
2
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3.2.5 SSR
准备错误
1.
确认
SSR
基板的状态
确认连接器的连接和基板的设置状态。
如果没发现异常，则可判断为基板本身出现故障，详情请与本公司联系。
卸下盖后的状态
SSR
基板
LED
圆圈部分的
LED
全部亮灯时，可判断为基板出现故障或断线，详情请与本公司联系。
LED9
LACH5
LILKO
LPRST1
LPWON
LED8
LY 2
LCOVS
LCOV∗
6 5 4 3 2 1
4Z4C-406E
EJM5B-AA
EJM5B-021E
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