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CM101-D 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-1 82 通知 在打开配电部之前，请务必将机器主体的电源置于 OFF (O) 。 卸下与配电部相连接的配线 (4 根 ) 。 请注意不要弄错配线的序号。如果配线的序号错误，真空泵电机有可能发生逆转。 7. 打开取出的真空泵配电部。 8. 卸下与配电部相连接的配线 (4 根 ) ，连接 好新的真空泵配线。 ∗ 连接时， 请注意要使配 线的符号 (U,V,W) 和端 子台的符…
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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3.
卸下与真空泵相连接的管
(
黑色
3
根
)
。
4.
卸下固定真空泵基础的螺栓
(
左图
部分
6
处
)
。
5.
卸下连接器
(A5)
。
6.
握住把手向外侧拉出，卸下真空泵。
下一页
EJM5B-020P
管
(
黑色
3
根
)
EJM5B-019P
EJM5B-019P
EJM5B-C-MMC01-A05-00
CM101-D
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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通知
在打开配电部之前，请务必将机器主体的电源置于
OFF (O)
。
卸下与配电部相连接的配线
(4
根
)
。
请注意不要弄错配线的序号。如果配线的序号错误，真空泵电机有可能发生逆转。
7.
打开取出的真空泵配电部。
8.
卸下与配电部相连接的配线
(4
根
)
，连接
好新的真空泵配线。
∗
连接时，请注意要使配线的符号
(U,V,W)
和端
子台的符号
(U,V,W)
一致。
9.
安装新的真空泵。
10.
固定连接器。
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EJM6A-460P
EJM6A-461P
配线
端子台
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CM101-D
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1.10
消耗零件的更换
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11.
用螺栓固定真空泵
(
左图
部分
6
处
)
。
12.
将管
(
黑色
3
根
)
连接到真空泵上。
13.
安装本机后面的盖。
•
使用十字螺丝刀安装螺栓。
14.
将电源开关置于
ON ( I )
。
EJM5B-AB
盖
EJM5B-020P
管
(
黑色
3
根
)
EJM5B-C-MMC01-A05-00