CM101维修手册.pdf - 第413页
CM101-D 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 37 压力开关的设定 方法 1. 键锁定的解除 ① 按 [SET ]4 秒以上，将显示键锁定的 设定 “Loc” 。 ② 按开关 ∆∇ 使 “UnL” 显示，然后再按 [SET ] ，解除键锁定。 2. 压力的设定 ① 在测定模式时按 [SET ] ，将变为设定值显示。 ② “P_1” 和现在的设定值 将交替闪炼显示。 ③ 按 [SET ] ，将显示如下设定值。 ④ 按…
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3.2
检查和对策
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3.2
检查和对策
3.2.1
工作气压异常
1.
调节工作气压
当未提供正常气压
(0.5 MPa ~ 0.55 MPa)
时，请按下图步骤调节为规定气压。
2.
设定气压检测值
规定的
(0.45 MPa)
未被设定时，请按照下图的方法，设定为规定的气压检测值。
调整气压
1.
解除锁定
2.
调整
3.
锁定
∗
对于气压检测值，可按
∆∇
开关变换数字显示的
设定，然后按
“SET”
进行确定。
设定方法请参照后述的
“
气压开关的设定方
法
”
。
EJM5B-AB
EJM5B-021P
EJM6A-425E
调节器旋钮
压力计
EJM5B-C-MMC03-A01-00
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压力开关的设定方法
1.
键锁定的解除
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“Loc”
。
②
按开关
∆∇
使
“UnL”
显示，然后再按
[SET]
，解除键锁定。
2.
压力的设定
①
在测定模式时按
[SET]
，将变为设定值显示。
②
“P_1”
和现在的设定值将交替闪炼显示。
③
按
[SET]
，将显示如下设定值。
④ 按开关
∆∇
，将变为数值变更模式。
(
请参照数值设定的方法
)
⑤ 将
LCD
显示如下设定。
“P_1” “.450”
“P_2” “.600”
“H” (
应差，动作范围的差异
) “.050”
3.
数值设定的方法
①
输入压力设定等数值时，按开关
∆∇
，进入设定值变更模式后第
1
位将会闪炼。
② 按开关
∆∇
，任意设定数值。
(
输入数值中如果
10
秒以上不按按钮，该数值将被自动设定，
然后恢复到设定值显示。
)
③ 按
[SET]
，进一位的数值将闪炼。
(
最大位数为
0
时，
或
将会闪炼。
代表正
0
。
代表负
0
。
)
(
在最大位数上按
[SET]
时，第
1
位数将会闪炼。
)
④
按
[SET]1
秒以上，将恢复到设定值显示。
4.
键锁定的设定
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“UnL”
。
②
按开关
∆∇
，使
“Loc”
显示，按
[SET]
设定键锁定。
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3.2.2
真空泵发热异常、环状负荷温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请按下
[
输出确认
]
。
请确认是否从冷却扇送风口向外排风。
(
无需卸下主体盖。
)
风扇位于本机后面。
(
参照下图
)
如果冷却扇送风口未向外排风，则可能冷却扇损坏。需要进行更换，请与本公司联系。
将真空泵置于
ON
的步骤
1.
按机器调节菜单中的
[
输出确认
]
。
2.
按
[
真空泵
]
。
•
显示从
OFF
切换为
ON
，真空泵开始旋转。
∗
作业结束后，请按相同步骤将真空泵置于
OFF
。
EJM5B-AB
EJM5B-019P
冷却扇送风口
(
卸下盖后的状态
)
EJM5B-Ma-0014
ON
2
EJM5B-C-MMC03-A01-00