CM101维修手册.pdf - 第440页
CM101-D 维修手册 3.5 负荷一览表 Pa ge 3- 64 选购件部分 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 元件排出传送带 M1-NC1 传送带驱动 AF EJM5B- C-MMC03-A02-0 0
CM101-D
维修手册
3.5
负荷一览表
Page 3-63
(2/2)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
PM1
宽度调节驱动
(
主
)
A
M1A
基板搬送
(
固定侧
1)
A
M3A
基板搬送
(
固定侧
3)
A
M4A
基板搬送
(
固定侧
4)
A
M7A
基板搬送
(
可动侧
1)
A
M9A
基板搬送
(
可动侧
3)
A
基板传送带
M10A
基板搬送
(
可动侧
4)
A
EJM5B-C-MMC03-A02-00
CM101-D
维修手册
3.5
负荷一览表
Page 3-64
选购件部分
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
元件排出传送带
M1-NC1
传送带驱动
AF
EJM5B-C-MMC03-A02-00
CM101-D
维修手册
3.5
负荷一览表
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3.5.2
电磁开关
(VL)
标准部
(1/3)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL520
基板支架
Z
夹具
2
A
VL522
基板支架支撑上升
2
A
VL523
基板支架支撑下降
2
A
VL524
支承块交换上升
A
VL525
支承块交换下降
A
VL542
基板定位止动器
3
A
主体部
MVL10
空气下降阀
−
X
轴装置
AFHVL10
吹气压切换
AF
EJM5B-C-MMC03-A02-00