NPM-D3使用说明书・维修保养篇.pdf - 第177页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 5 向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键上供给润滑脂 6-1 -2 每 5 6 0 小 时 保 养 7 顺序 8 定 期 检 查 轨道 1 右侧 轨道 2 右侧 轨道 1 左侧 轨道 2 左侧 线性导轨 *2) 滚珠花键 *3) 宽度调整滚珠丝杠 *1) ( 润滑脂注入口 ) 宽度调整滚珠丝杠 *1) ( 润滑脂注入口 ) 宽度调整滚珠丝杠 *1) ( 润滑脂注入口 ) 线性导…
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具:润滑脂枪 所需时间:20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键添加润滑脂。
●对交换台车侧加以说明。请卸下供料器后进行作业。(→ P.14-8)
●建议在双轨模式下进行作业。(→ P.11-2-1)
维修保养篇
6-1
基板传送带的润滑脂添加 1
6-1-1
卸下交换台车
(→P.3-2)
1
ENABLING
3
2
●事先确认不存在支撑销。
5
OFF
SERVO
4
6
卸下供料器工作台
盖(→P.3-3)
确认提示
ENABLING
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键上供给润滑脂
6-1-2
每
5
6
0
小
时
保
养
7
顺序
8
定
期
检
查
轨道1右侧
轨道2右侧
轨道1左侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
滚珠花键
*3)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
滚珠花键
*3)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
*3)
滚珠花键的情形
●在滚珠花键的中压部分直接添加润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
基板传送带的润滑脂添加 2
6-1-3
维修保养篇
6-1
ENABLING
●事先确认基板托板上不存在支撑
销。
●使搬送传送带的宽度调整轴连续
来回往返5次以上。
确认提示
■轨道选择 W1/W2
安装交换台车
(→P.3-2)
ENABLING
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
15
STOP
14
13
11
12
8
SERVO
ON
10
9