NPM-D3使用说明书・维修保养篇.pdf - 第312页
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-06 模式的 切换 切换到单轨模式 3 维修保养篇 1 1-2-1 1 1-2-1 -5 ( 返回到轨道切换画面 ) + ( 将显示电源切断信息 ) 20 19 21 OFF 主电源开关置于 OFF 20 19
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11-2-1-4
更
换
+
(基板支撑块转为下降状态)
确认提示
+
安装交换台车
(→P.3-2)
伺服开关ON
关闭安全盖
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16
14
15
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安装供料器工作台盖(
→P.3-3)
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模式的
切换
切换到单轨模式 3
维修保养篇
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(返回到轨道切换画面)
+
(将显示电源切断信息)
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OFF
主电源开关置于OFF
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更
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