NPM-D3使用说明书・维修保养篇.pdf - 第311页
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-06 1 1-2-1 -4 更 换 + ( 基板支撑块转为下降状态 ) 确认提示 + 安装交换台车 ( → P.3-2) 伺服开关 ON 关闭安全盖 17 18 16 14 15 13 安装供料器工作台盖 ( → P.3-3) 17 18
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-06
模式的
切换
切换到单轨模式 2
维修保养篇
11-2-1
11-2-1-3
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卸下基板支撑块
●变更基板支撑块的配置位置。基板支
撑块的配置位置，参照“5-3 基板支
撑块(自动更换用) (选购件)的清扫”、
“5-4 基板支撑块(整体更换用) (选购
件)的清扫”。
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安装基板支撑块
●卸下后面的基板支撑块。
①从操作方向上提起左右锁杆。
基板支撑块
②拉出基板支撑块。
取出锁杆
导轨销
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取下盖在多功能识别照相机上的
棉纱布
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识
别照相机(LED照明上)。
●将本体侧的导轨销对准基板支撑块的
孔。
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更
换
+
(基板支撑块转为下降状态)
确认提示
+
安装交换台车
(→P.3-2)
伺服开关ON
关闭安全盖
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18
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14
15
13
安装供料器工作台盖(
→P.3-3)
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模式的
切换
切换到单轨模式 3
维修保养篇
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(返回到轨道切换画面)
+
(将显示电源切断信息)
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OFF
主电源开关置于OFF
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