NPM-D3使用说明书・维修保养篇.pdf - 第212页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-05 对真空泵过滤器的清扫方法进行说明 。 使用工具 : 六角扳手 所需 时间 :30 分钟 ●作业过程中,注意不要碰撞到头。 7 真空泵过滤器的清扫 安装安全盖 6-8 -1 安全盖 卸下后侧的交换台 车或者托盘供料器 ●拆卸方法 ・ 交换台车时 ( → P.3-2) ・ 托盘供料器时 ( → P.14-8) 8 安装后侧的交换台 车或者托盘供料器 ●安装方法 ・ 交换台车时 ( → P.3-…

NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
6-7-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
从贴装头卸下吸
嘴
●捏住吸嘴外周往下拉。
用棉纱布擦拭大型
反射板
卸下供料器工作台
盖(→P.3-3)
4
5
6
8
7
将吸嘴安装到贴
装头上
9
大型反射板

NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-05
对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具:六角扳手 所需时间:30 分钟
●作业过程中,注意不要碰撞到头。
7
真空泵过滤器的清扫
安装安全盖
6-8-1
安全盖
卸下后侧的交换台
车或者托盘供料器
●拆卸方法
・交换台车时
(→P.3-2)
・托盘供料器时
(→P.14-8)
8
安装后侧的交换台
车或者托盘供料器
●安装方法
・交换台车时
(→P.3-2)
・托盘供料器时
(→P.14-8)
维修保养篇
6-8
主电源开关置于
OFF,上锁
9
解锁
ON
●螺丝(7 个)
安全盖
1
2
3
卸下安全盖
●螺丝(7 个)

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EJM6DC-MB-06M-05
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪,清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
6
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
6-8-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
4
5
过滤器