NPM-D3使用说明书・维修保养篇.pdf - 第495页
NPM-D3 EJM6DC-MB-13M-05 计测确认和反映 ( 计测 ) ENABLING 3 2 1 ( 第 1 阶层 ) ( 第 2 阶层 ) 13-20-2 -12 在精度验证动作中，请不要按 STOP 按钮。 否则，将不能在精度验证动作的中途 开始重新操作。 注意 计测面补正治具 ●在自动运转种计测治具。 计测结束之后，运转停止， 自动运转则结束。 4 5 6 确认信息 ●使用精度验证 MCDATA 时 : ( → P.13…
NPM-D3 EJM6DC-MB-13M-05
关闭安全盖
伺服开关置于ON
6
7
面补正治具
LANE1
面补正治具
LANE2
面补正治具边缘
基准轨道
可动轨道
基准轨道
■左→右流动时
②将面补正治具的箭头侧设置到基准轨道侧
③使基准轨紧贴到治具上。
精度验证
详细工序 6
(检查头)
维修保养篇
13-20-2
1
1
生产准备 3(生产动作的设定)
将[检查]、[基板识别]以外的项目
设为OFF
13-20-2-11
NPM-D3 EJM6DC-MB-13M-05
计测确认和反映 (计测)
ENABLING
321
(第1阶层)
(第2阶层)
13-20-2-12
在精度验证动作中，请不要按STOP按钮。
否则，将不能在精度验证动作的中途开始重新操作。
注意
计测面补正治具
●在自动运转种计测治具。
计测结束之后，运转停止，
自动运转则结束。
4
56
确认信息
●使用精度验证MCDATA
时:
(→ P.13-20-1
-1 ‘■验证数
据的反映’)
ENABLING
NPM-D3 EJM6DC-MB-13M-05
计测确认和反映 (计测结果的确认)
1
2
3
1
2
3
按 来切换
4
5
A
4
选择检查头的工作台
●各元件的Cpk规定值
(→『操作篇』P.9-1-1 ‘基本性能’)
A
Cpk
5
13-20-2-13
精度验证
详细工序 7
(检查头)
维修保养篇
13-20-2
●2D检查头
A类型: 分辨率 18 μm ± 0.020 mm
B类型: 分辨率 9 μm ± 0.010 mm
●当使用用来反映补偿值的MCDATA时，
将一直反映检查照相机的补偿值。