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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 26 2-7-3-1 传送部的构成 1. 当为外形基准时 1) 基板被搬入， IN 传感 器①检测出基 板后， 传送马达⑦将 驱动驱动轴⑧，通过传送带开 始传 送。同时 ，挡块⑨将变为 ON 。 2) 当基板到达挡块⑨时， 被停止传感器 ③检测出，支撑 台面 ⑪ 上升。此时，基板的外形被挡 块⑨、夹杆 Y ⑭ (Y 方向 ) 、支撑销 ⑬ 固定。 3) 固定后，下一块基板同样 被送进，在 等…
第1部 基本篇 第2章 生产
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2-7-3 基板的设置
固定基板（定心）的方法有 2 种，一种是使用夹杆（Y）的“
外形基准
”，一种是使用定
位销“
销基准
”（选项）。
在这里通过「生产」的个别控制画面
*1
，对上述不同种类的设置方法进行说明。
*1 生产个别控制画面是指：按下「生产」—「传送·I/O 状态」画面内的「个别控
制」按钮，利用其功能来安排传送工作的画面。有关个别控制的详细说明，请参
见第 8 章。
（
注意
） 要启动「生产」，需读入生产程序。
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2-7-3-1 传送部的构成
1. 当为外形基准时
1) 基板被搬入，IN 传感器①检测出基板后，传送马达⑦将驱动驱动轴⑧，通过传送带开始传
送。同时，挡块⑨将变为 ON。
2) 当基板到达挡块⑨时，被停止传感器③检测出，支撑台面⑪
上升。此时，基板的外形被挡
块⑨、夹杆 Y⑭
(Y 方向)、支撑销⑬固定。
3) 固定后，下一块基板同样被送进，在等待传感器⑯
的位置等候。
4) 生产完成后解除固定，开始搬出。
5) 最初的基板在通过 C-搬出传感器④时，挡块⑨再次变为 ON，下一块基板则被固定。
2. 当为销基准时
搬入动作与外形基准时相同，基板被安装在支撑台面⑪上的定心销⑩
、支撑销⑬所固定。
搬出动作也与外形基准时相同。
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图 2-7-3-1 基板传送
① IN 传感器
⑧ 驱动轴 ⑮ 减压阀(外形基准用)
② 搬出传感器
⑨ 停止挡销
⑯ 等待传感器
③ 停止传感器
⑩ 定心销 ⑰ 调整手柄
④ C-OUT传感器
⑪ 支撑台 ⑱ 调整挡块
⑤ 支撑台原点传感器
⑫ 马达 ⑲ 调整杆
⑥ 传送电磁阀
⑬ 支撑销 ⑳ 摇把
⑦ 传送马达
⑭ 夹杆 Y（外形基准用）
⑦
⑮
⑨
②
⑧
⑧
⑭
⑤
⑥
⑯
⑰
①
③
④
⑩
⑩
⑪
⑫
⑬
⑱
⑲
⑧
②
①
⑳
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2-7-3-2 传送轨道宽度的调整
1) 采用手动宽度调整(标准)时
<步骤>
1. 请调整传送的宽度。
在调整杆⑲上安装摇把⑳，将传送的宽度调整至基板能顺利通过的宽度(“基板宽度+0.
5mm～1mm”)。
2. 请确认整个传送轨道范围内，基板都能顺利通过。
3. 调整完成后，请卸下手柄。
2) 采用自动宽度调整(AWC、选购件)时
也可打开生产程序文件，在「基板宽度自动调整」（AWC,选项）画面上进行调整。这里就下
列「生产」—「传送·I/O 状态」画面，介绍从画面上进行调整的方法。在执行自动基板
宽调整之前，需要通过机器设置/设定组/基板传送/自动基板宽调整，重新设定移动限制宽
度（请参考“第 7 章 7-4-6 基板传送”）。 请事先确认传送宽度在移动限制宽度以上。如果
传送移动到的位置未达到移动限制宽度，则传送宽度将无法调窄。此外，也请确认在移动
限制宽度内没有障碍物。
＜通过「传送・I/O 状态」画面的调整方法＞
1. 请启动「生产」。
2. 在菜单栏点击「窗口」—「传送·I/O 状态」。
图 2-7-3-2-1 传送・I/O 状态