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第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要 1 - 5 确认把手已推到 里面并且稳定。 ◆打开安全盖时应将盖向 上一直开到上锁 ，确认 上锁之后再放开手。 （将盖开到最大限度就 会进入上锁状态。） ﹡ 如果没有上好 锁就放开手， 有盖落下来的危 险。 ◆关盖时先解开锁，再 关闭盖。 将盖向上提，在全开状态 下， 将把手向上移动解开锁 。 （请注意，开锁时应避 免盖落下导致受伤。 ） ﹡不要过度 增加盖、把手 等的负荷。 将把手向上提，解开…
第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要
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1-2 本设备的构成
1-2-1 本设备的构成
图 1-2-1-1 正面图 图 1-2-1-2 右面图
① 监视器
⑤ 鼠标
⑨ 风速计/FDD 单元（可选项）
② 液晶显示器
⑥ 信号灯 ⑩ 温度调节器
③ HOD 单元
⑦ 主开关
④ 键盘
⑧ 过滤器调节器
图 1-2-1-3
①点胶头单元 ② X 单元 ③ Y 单元 ④ 基板传送单元
③
①
②
④
①
②
③
④
⑤
⑦
⑧
⑨
⑥
⑩
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确认把手已推到
里面并且稳定。
◆打开安全盖时应将盖向上一直开到上锁，确认
上锁之后再放开手。
（将盖开到最大限度就会进入上锁状态。）
﹡
如果没有上好锁就放开手，
有盖落下来的危险。
◆关盖时先解开锁，再关闭盖。
将盖向上提，在全开状态下，
将把手向上移动解开锁。
（请注意，开锁时应避免盖落下导致受伤。）
﹡不要过度增加盖、把手等的负荷。
将把手向上提，解开锁后，再
关闭盖。
安全盖打开状态（态面态）
〈态注：开关安全盖态的注意事态〉
把手
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1-2-1-1 基板传送部分的构造
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图 1-2-1-4 基板传送
① 搬入传感器 ⑧ 驱动轴 ⑮ 减压阀(外形基准用)
② 搬出传感器 ⑨ 停止挡销 ⑯ 等待传感器
③ 停止传感器 ⑩ 定心销 ⑰ 调整手柄
④ C-OUT 传感器 ⑪ 支撑台 ⑱ 调整挡块
⑤ 支撑台原点传感器 ⑫ 马达 ⑲ 调整杆
⑥ 传送电磁阀 ⑬ 支撑销 ⑳ 摇把
⑦ 传送马达 ⑭ 态杆
Y(外
形基准用)
⑦
⑮
⑨
②
⑧
⑧
⑭
⑤
⑥
⑯
⑰
①
③
④
⑩
⑩
⑪
⑫
⑬
⑱
⑲
⑧
②
①
⑳