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第 2 部功能详解篇第 9 章设备运行信息 9 - 15 9-5-4 传送运行信息从菜单栏中选择「窗口 (W) 」 / 「其他」 / 「传送运行信息」，则显示图 9-5-4 。 No 项目内容 1 基板通过的总数基板通过张数的总和。 2 等待基板搬入时间从基板可搬入状态到夹紧下一基板的时间总和。 3 等待基板搬出时间从基板传送动作开始到动作完成的时间总和。 4 等待基板传送时间从解除…

第 2 部功能详解篇第 9 章设备运行信息

9-5-3 轴运行信息

从菜单栏中选择「窗口(W) 」/「其他」/「轴运行信息」，则显示图 9-5-3。

No. 项目内容

１ X 轴总移动距离 X 轴的移动距离总和。

２ Y 轴总移动距离 Y 轴的移动距离总和。

３ Z 轴总移动距离

Z 轴（L,C,R 点胶头）的移动距离总和。

４ T 轴总移动距离

θ轴（L,C,R 点胶头）的移动距离总和。

５支撑台轴总移动距离支撑台轴移动距离总和。

６ AWC 轴总移动距离基板宽度自动调整轴的移动距离总和。(可选项)

图 9-5-3 轴运行信息

第 2 部功能详解篇第 9 章设备运行信息

9-5-4 传送运行信息

从菜单栏中选择「窗口(W) 」/「其他」/「传送运行信息」，则显示图 9-5-4。

项目

内容

1 基板通过的总数基板通过张数的总和。

2 等待基板搬入时间从基板可搬入状态到夹紧下一基板的时间总和。

3 等待基板搬出时间从基板传送动作开始到动作完成的时间总和。

4 等待基板传送时间

从解除基板夹紧到被传送到 OUT 缓冲区的时间总和(

但

仅用于搬出动作的时间不计算在内。)

5 入口马达驱动次数搬入马达动作次数的总和。

6 入口马达驱动时间搬入马达动作时间的总和。

7 出口马达驱动次数搬出马达动作次数的总和。

8 出口马达驱动时间搬出马达动作时间的总和。

9 自动调整基板宽度驱动次数自动调整基板宽度运行次数的总和。

10 传送故障次数传送错误次数的总和。

11 支撑台驱动次数支撑台运行次数的总和。

12 停止挡销驱动次数停止挡销动作次数的总和。

13 外形基准驱动次数外形基准动作次数的总和。

14 中心马达驱动次数定心马达动作次数的总和。

15 中心马达驱动时间定心马达动作时间的总和。

16 支撑台挡块驱动次数(安全规格) 挡块动作次数的总和。(仅 EN 机为对象)

图 9-5-4 运行信息

第 2 部功能详解篇第 9 章设备运行信息

9-5-5 异步运行信息

从菜单栏中选择「窗口(W) 」/「其他」/「异步运行信息」，则显示图 9-5-5。

No. 项目内容

1 返回原点次数执行返回原点的总次数。

2 发生异步故障次数发生异步错误

※

的总次数。

3 按下操作面板的次数按下操作面板开关的总次数。

※异步错误：指驱动 RAM、主体紧急停止、XY 限位等错误。

图 9-5-5 异步运行信息