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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4 -76 当不需要改变检 测框时, 只按 ENTER 键输入。 ********** ********** 此时,如 果按下 HOD 的 PREVIOUS 键,可以 返回检测框的 示教 ( ③的操作 ) 中。 ⑥ 识别的示教结束后, 标记数据的旁边 显示 (T) ,表示示 教已完成。 需对使用的全部 标记进行 识别示教。 在示教过程中按 下 HOD 的 C ANCEL 键, 可结 束当前的…

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然后,设置标记判定,选择PR。
*请将标记对准PR的位置(HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)),然后按下ENTER键。
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[ *]PR
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刻度框的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。当刻度框过大时,会
显示错误并返回③。
④ 进行模板画面重心示教。
⑤ 请进行检测框的示教。
完成④的操作后,画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。
要改变检测框时,请执行与③相同的步骤。
在画面中显示刻度框和十字光标。
用“HOD”移动十字光标,决定模板的重心(该位置与
基板数据的标记坐标一致)。
画面下方显示“TempMatch-Set Center”。
画面下方显示“Select Mark
by Up or Down Key”。
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当不需要改变检测框时,只按ENTER键输入。
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此时,如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键,可以返回检测框的示教(③的操作)中。
⑥ 识别的示教结束后,标记数据的旁边显示(T),表示示教已完成。
需对使用的全部标记进行识别示教。
在示教过程中按下HOD的CANCEL键,可结束当前的示教。(
此时,至此输入的数据全部无
效)
按下CANCEL键时,装置不移动。
●
关于设置模板时的注意事项
1) 请确认在检测框内没有与已设定的模板相类似的图案。
2) 图案的大小与标准标记相同,请设置为 0.5~3mm。
3) 坐标值请采用设计值(CAD 数据)。用户指定模板数据,不能求出精确的图案中心位置。
用户指定的模板是以十字光标的移动来进行示教,所以用户指定的位置直接被视作中
心位置(而一般标记,是通过计算获得重心位置,作为图案的中心位置,不会产生误差)。
4) 用户指定的模板,不能进行图像复制。
5) 要把使用过的用户指定的模板的生产程序保存到 FD 时,如果空余空间不足可能无法保
存。
6) 从 FD 读取使用过的用户指定模板的生产程序很花时间,所以建议不要直接用 FD 读取
或保存。
7) 要把 SSD 保存的生产程序进行复制时,请从主菜单的「文件」中的「文件管理(参照)」
中复制到 FD 中。
调整完成后按 ENTER 键。
在画面下显示“Set Right-Bottom Point”。
与刻度框同样,设定检测框。
设定方法与刻度框的设定方法相同。
虚线部分为模板设定框,实际不显示。
在画面下方显示“Set Left-Top Point”。

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4-5-3 设置环境
设置程序编辑环境。
从菜单栏中选择「文件」/「环境设置」,显示设置画面。
图 4-5-3-1 环境设置
1) 单位
选择编辑时的长度、压力的显示单位。
●长度
…从mm、1/100mm、inch中选择。
●压力
…从kPa、kgf/cm2中选择。
2) 环境
① 退出时的状态保存
●执行:在下一次启动程序编辑时重新显示以下的项目。
1.
工具栏显示、不显示
2.
读入文件名
3.
窗口尺寸
程序编辑结束后,重启程序编辑时,打开上次最后使用的文件,进入尺寸设定画
面。
●不执行:重启进入程序编辑时,显示新文件名画面。
② 退出时优化询问
●执行:在未优化的状态下结束程序,则显示询问是否进行优化。
●不执
行:不显示询问。
③ 数据库注册提示结束
●执行:将元件数据注册到数据库结束后,通知注册已完成。
●不执
行:不进行通知。