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Edition 1.0 N X T I I 用户高级培训手册 FMC-1010-003-0 C 4-57 FUJI MACHINE MFG. CO., LTD 4. 拆下汽缸。 a. 在拆下汽缸前，用油性笔在外壳和汽缸上做标记。 b. 用戴有手套的手，满满地将风扇向上旋转。此时，请必须戴手套。 c. 将汽缸向上拔起。
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真空泵的分解
警告
)
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。存在在空气中浮游着的细微尘屑会与空气
一起进入体内的危险。
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓（M6×L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓（M6×L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的装配接
头一点点交替地拔出。
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4. 拆下汽缸。
a. 在拆下汽缸前，用油性笔在外壳和汽缸上做标记。
b. 用戴有手套的手，满满地将风扇向上旋转。此时，请必须戴手套。
c. 将汽缸向上拔起。
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5. 拆下压板和盖垫。
a. 对准外壳的标记部，用油性笔在压板上做标记。
b. 松开压板的 4 根平头螺丝（M5×L12）。此时，请戴好手套，抓住松开处的连杆。
c. 拆下压板。