NXTII 培训手册.pdf - 第203页
Edition 1.0 N X T I I 用户高级培训手册 FMC-1010-003-0 C 4-65 FUJI MACHINE MFG. CO., LTD 工具类名称 备注 六角 T 扳手 对边 5 mm 六角 T 扳手 对边 3 mm 六角 T 扳手 对边 2.5 mm 转矩扳手 对边 5 mm 转矩螺丝刀 对边 3 mm 转矩螺丝刀 对边 2.5 mm 十字螺丝刀 No. 2 压缩机 吹气用 硅质润滑油 - 密封胶 242 固定…
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4.27 真空阀的吸气阀、排气阀、垫圈等〈4M-2 基座用泵(DOP-420SA
用)的时候〉
请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
4.27.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
4.27.2 准备物品
维修套件（DOP-420SA 用）
No.
部件名称 数量
1
盖垫
4
2
阀
8
3
S-100 O 型圈
4
4
AS568-117 O 型圈
2
5
密封圈
2
6
过滤器
4
7
除尘口罩
2
工具类
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工具类名称 备注
六角 T 扳手 对边 5 mm
六角 T 扳手 对边 3 mm
六角 T 扳手 对边 2.5 mm
转矩扳手 对边 5 mm
转矩螺丝刀 对边 3 mm
转矩螺丝刀 对边 2.5 mm
十字螺丝刀
No. 2
压缩机 吹气用
硅质润滑油
-
密封胶 242 固定螺丝用
回丝
-
4.27.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
警告
)
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
警告
)
请在泵体停止运转放置
30
分钟以上，并且确认泵体冷却后再进行操作，运转放停止时
的泵体内部很热，有可能造成灼伤。
3. 小心地拆下固定轨道的螺丝（2 根），尽量不要妨碍拆除真空泵弯曲轨道。其次，拆除盖
板(2 块)。
4. 拆除真空泵接线箱的盖板。
5. 从接线台拆除布线（电源线 3 根，地线 1 根）。
6. 用绝缘胶布等保护固定，以免拆除的配线与机器的其他部位接触。
7. 请从真空泵上拆除连接管。
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8. 请拆除真空泵的固定螺栓（4 根）。请握住手柄，抬起真空泵从机器中取出。
警告
)
请务必
2
人以上时进行操作，不要在勉强的姿势下抬起真空泵，有可能使腰受伤。
真空泵的分解
警告
)
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。存在在空气中浮游着的细微尘屑会与空气
一起进入体内的危险。
1. 将回丝垫在操作台上，把泵的开口部向上放置。
注意
)
泵体很沉重，请注意不要将手指夹入泵体和操作台之间，以免使手指受伤。
2. 请拆除螺母、安装平板和防振橡胶。
3. 请拆除真空泵的消音器（2 个）。