NXTII 培训手册.pdf - 第201页
Edition 1.0 N X T I I 用户高级培训手册 FMC-1010-003-0 C 4-63 FUJI MACHINE MFG. CO., LTD 真空泵的安装 1. 请按照与拆除相反的步骤，将真空泵放入机器内固定。 警告 ) 请务必 2 人以上时进行操作，不要在勉强 的姿势下抬起真空泵，有 可能使腰受伤。 2. 如下图所示，请对接线台（ Earth,W,V,U ）布线。
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7. 更换盖垫的密封垫。
a. 从工作头盖罩上拆下旧的密封垫。
b. 将工作头盖罩用工业用酒精洗干净，再用电吹风吹干。
c. 将新的密封垫安装在工作头盖罩上。
8. 将工作头盖罩安装在外壳上。
a. 将工作头盖罩的接头插入到管内，把外壳的螺丝孔与工作头盖罩的孔对齐。
b. 将 4 根内六角螺栓（M6×L30）用紧固转矩 8N·m 拧紧。（更换连接管时，请切成与泵相
同的长度进行更换。）
9. 插入连接管。（更换时，请切成与泵相同的长度进行更换。）
10. 将真空泵横放，安装手柄和平板。
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真空泵的安装
1. 请按照与拆除相反的步骤，将真空泵放入机器内固定。
警告
)
请务必
2
人以上时进行操作，不要在勉强的姿势下抬起真空泵，有可能使腰受伤。
2. 如下图所示，请对接线台（Earth,W,V,U）布线。
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4.27 真空阀的吸气阀、排气阀、垫圈等〈4M-2 基座用泵(DOP-420SA
用)的时候〉
请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
4.27.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
4.27.2 准备物品
维修套件（DOP-420SA 用）
No.
部件名称 数量
1
盖垫
4
2
阀
8
3
S-100 O 型圈
4
4
AS568-117 O 型圈
2
5
密封圈
2
6
过滤器
4
7
除尘口罩
2
工具类