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3-54 3 5 스 플라인 샤프 트 의 내 부 를 세 척합니다 . 1 . 스플라인 샤프트 하부 에 IP A 를 받아낼 종이 컵 등을 놓아 둡니 다 . 2. 스플라인 샤프트 에 클리 닝 킷의 노 즐 을 삽입 합 니다 . 3. IPA 를 주입 해서 스플라인 샤프트의 에어 경로 를 씻어 내 립 니 다 . 5736 6 -N9 - 00 c 주의 클리닝 킷 의 선단은 반드시 15mm 이상 삽 입해 주십…
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5.2 FL 헤드
5.2.1 스플라인 샤프트의 세척
스플라인 샤프트의 에어 경로내에 이물질이 부착하거나, 더러워지면 흡장착 에러발생의 원인이 될 가능성이
있습니다. 공급에어의 상태와 가동시간에 따라 다릅니다만 , 보통 1년 간격으로 스플라인 샤프트 내부를
청소해 주십시오 .
c
주의
스플라인 샤프트의 동작이 불안정하거나 , 이상한 소리가 발생할 경우에는 , 판매 대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 .
자체적인 분해 청소는 보장해 드릴 수 없습니다 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 노즐 스테이션을 겸비하고 있을 경우는 , 노즐을 전부 노즐 스테이션에 격납합니다 .
e
3. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
4. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
5. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
2
노즐을 탈착합니다 .
노즐 스테이션이 없을 경우는 , 헤드로부터 노즐을
전부 탈착해 주십시오 .
n
요점
탈착한 노즐은 반드시 헤드에 되돌려 주십시오 .
3
클리닝 킷을 준비합니다 .
클리닝 킷 ((KHN-M8860-00X)) 의 용기에
IPA( 이소프로필 알코올 ) 를 넣습니다 .
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c
주의
IPA( 이소프로필 알코올 ) 이외의 용액은 사용하지 마십시오 .
4
메인터넌스 볼트를 분리합니다 .
일자 드라이버로 우측 그림의 메인터넌스 볼트를
분리해 주십시오 .
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클리닝 킷
Step 3
펌프
노즐
IPA
메인터넌스 볼트
Step 4
메인터넌스 볼트
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스플라인 샤프트의 내부를 세척합니다 .
1. 스플라인 샤프트 하부에 IPA 를 받아낼 종이
컵 등을 놓아 둡니다 .
2. 스플라인 샤프트에 클리닝 킷의 노즐을 삽입합
니다 .
3. IPA 를 주입해서 스플라인 샤프트의 에어 경로
를 씻어 내립니다 .
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c
주의
클리닝 킷의 선단은 반드시 15mm 이상 삽입해 주십시오 .
삽입 길이가 불충분하면 , 샤프트 상부의 패킹류에 IPA 가 흘러
들어갈 우려가 있습니다 .
6
스플라인의 에어 경로를 블로우합니다 .
1. 에어블로우 툴 ( 옵션 구입품 ) 을 대차의 에어
조인트 등에 접속해서 준비해 둡니다 .
2. 스플라인 샤프트의 선단부에 헝겊 등을 대고
에어블로우 툴로 스플라인 샤프트 안을 에어
블로우합니다 .
3. 스플라인 샤프트 아래에 깔아둔 헝겊에 오염
물이 나오지 않는 것을 확인한 후 , 메인터넌스
볼트를 장착합니다 .
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c
주의
배기 블로우 에어가 얼굴에 맞닿을 경우가 있으므로 , 반드시
보호안경을 착용해 주십시오 .
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작업을 반복합니다 .
Step4~Step6 의 작업을 반복해서 , 다른쪽 헤드
의 스플라인 샤프트안도 세척해 주십시오 .
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노즐을 원상태로 장착합니다 .
n
요점
탈착한 노즐은 반드시 헤드에 되돌려 주십시오 .
스플라인 세척
Step 5
노즐
종이 컵 등
IPA
15mm 이상
스플라인 샤프트내의 에어 블로우
Step 6
이 구멍으로 에어 블로우 한다
에어 블로우 툴
헝겊 등
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5.2.2 시저스 기어의 청소와 급유
시저스 기어는 보통 1 년에 한 번 청소와 급유가 필요합니다. 다음의 순서에 따라 실시해 주십시오 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
2
기어 커버를 탈착합니다 .
육각렌치 (2.5) 로 기어 커버의 고정볼트 (3 개 ) 를
분리해서 커버를 탈착해 주십시오 .
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시저스 기어를 청소합니다 .
R 축 ( 기어 ) 을 손으로 돌리면서 먼지가 나지 않는
와이퍼 ( 클린룸 용 ) 등으로 시저스 기어부
( 시저스 기어와 그 옆의 기어 ) 의 더러움을 닦아
주십시오 .
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구리스를 도포합니다 .
1. R 축을 손으로 돌리면서 시저스 기어에 지정
구리스 (NSL) 를 도포합니다 .
2. 스며 나오는 여분의 구리스를 와이퍼로 닦아
주십시오 .
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기어 커버를 장착합니다 .
기어 커버를 원상태로 해서 육각렌치로 기어 커버
의 고정볼트 (3 개 ) 를 체결해 주십시오 .
기어 커버의 분리
Step 2
기어 커버의 고정볼트
기어 커버
시저스 기어의 청소
Step 3
시저스 기어
와이퍼 (클린룸 용)