YSM40R_Mainte_K.pdf - 第196页
A-2 A 1 .2 전원 접속 부 본 체 정 면 하 단 우측 패 널 을 열 면 전 원 접 속부 가 있 습 니 다 . 다음 과 같 은 전 원 케 이 블을 사용 하여 , 전 원 접 속 단 자판 에 L 1 , L2 , L3 과 접 지 단 자 (PE ) 를 접 속 합 니 다 . ■ 전원 사양 장 비명칭 전원 주파수 전원 용량 YSM 40 R 삼 상 교 류 2 0 0/2 0 8 /2 2 0/ 2 4 …
A-1
A
1. 사양
1.1 에어압 조정부
본체 배면의 좌측하단 패널 안에 , 본체의 에어 구동부에 공급할 에어압의 조정부가 있습니다.
아래에 표시한 적정값으로 설정해 주십시오 .
에어압 조정부
설정 에어압 표시
[PNEUMATIC]
설정 에어압 조정부
[PNEUMATIC]
에어공급/배출 밸브
헤드 에어압 표시
[HEAD BLOW]
헤드 에어압 조정부
[HEAD BLOW]
원 에어 커넥터
57A01-N5-00
■ 공급에어 압력
공급에어 압력이란 , 압력 레귤레이터로 에어압을 설정하기 전의 본체에 공급되는 원래 압력을 말합니다 .
하기의 적정 범위내로 공급하여 주십시오 .
YSM40R：0.45MPa~0.70MPa
■ 에어압 표시
통상은 녹색으로 표시되고 , 압력이 상한값 또는 하한값 ( 에어다운 검출 ) 에 도달한 경우는 에러가 나서 빨간색으로 바뀝
니다 .
■ 에어압 설정값과 상한 및 하한값
헤드 설정값 하한값 상한값
설정 에어압 공통 0.40Mpa ( ± 0.01) 0.39Mpa 0.41Mpa
헤드 에어압 공통 0.040Mpa ( ± 0.001) 0.039Mpa 0.041Mpa
■ 에어공급 / 배출 밸브
이 밸브를 우측으로 돌리면 , 에어공급을 차단합니다 . 또한 , 에어 경로내에 남아있는 에어도 배출합니다 .
■ 원에어 커넥터
40SH( 日東工器 ) 소켓을 장착한 내경 8mm 이상의 에어호스를 준비하여 접속해 주십시오 . 에어 드라이어 및 에어필터를
통한 청정 공기를 사용해 주십시오 .
A-2
A
1.2 전원 접속부
본체 정면 하단 우측패널을 열면 전원접속부가 있습니다 . 다음과 같은 전원케이블을 사용하여, 전원 접속단
자판에 L1, L2, L3 과 접지단자 (PE) 를 접속합니다.
■ 전원사양
장비명칭 전원 주파수 전원용량
YSM40R 삼상교류 200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%) 50/60Hz 13.9kVA
전원입력 단자 (L1, L2, L3), 접지단자 (PE)
메인 브레이커
전원입력 단자
57A02-N5-10
원형 압착단자
절연 피복부 압착단자
전원 케이블
L2
L1
L3
PE
57A03-N5-00
c
주의
전원 케이블에는 , 도체 단면적이 10 ㎟ 이상의 것을 사용하여 주십시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주십시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속은
확실하게 해 주십시오 .
c
주의
전원의 접속은 , 윗 그림을 참조해서 반드시 전원 단자대 L1-L2-L3 의 순상이 되도록 접속해 주십시오 . 잘못 접속하면 진공펌프가 역회
전해서 내부의 부품수명을 현저히 저하시킬 가능성이 있습니다 .
장비의 전원을 넣기 전에 검상기로 확인하거나 , 전원을 넣은 후 종이를 진공펌프 앞에 가까이 해서 종이를 빨아 들이면 정상 ( 정회전 ) 인
지 확인할 수 있습니다 .
A-3
A
1.3 장비간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은 , 장비 본체 뒷면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는
로더 등의 상류기 ( 전장비 ) 와 접속합니다.
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에, 기판반입을 시작합니다.(ADVANCED GATE 선택시 )
1. 본체가 기판반입 가능한 상태 （BUSY OUT:ON）
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BA IN [N0100421]:ON）
3. 상류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（UR IN [N0100422]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다.
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BUSY OUT
(T01000E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01000E7)
UR IN
(N0100422)
BA IN
(N01000421)
반입중 입력
반출요구 출력
자동운전중 출력
자동운전중 입력
LE OUT
(T01000F3)
장비간 기판대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N5-00
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUS INTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
기판반입중 신호출력
2 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출요구 신호입력
4 BA IN N0100421 전압 입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
10 UR IN N0100422 전압 입력
11 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
12 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
13 LE OUT T01000F3 무전압 출력
장비간 기판대기중 신호출력
14 LE OUT T01000F3 무전압 출력